[发明专利]一种方形基片的生产设备及其生产方法

权利要求书

1.一种方形基片的生产设备，其特征在于，包括：用于固定圆形基片的真空吸盘，所述真空吸盘通过电机驱动其转动，在真空吸盘上方设置有滴胶装置，以通过滴胶装置向圆形基片滴胶，还包括用于夹持圆形基片的夹持装置以及用于储放旋涂胶液的圆形基片的裂片盒，所述夹持装置与裂片盒之间连接有翻转装置，以在所述夹持装置夹持旋涂胶液的圆形基片后将其翻转放入裂片盒内，圆形基片的边缘伸出裂片盒，在裂片盒上方设置有激光切割器，以将裂片盒内的圆形基片切割成方形基片，所述裂片盒为V型结构，所述夹持装置包括可转动的两半圆形夹持部，两半圆形夹持部相向设置，且在半圆形夹持部自由端的端部设置有磁体，以在两半圆形夹持部相向转动时，磁体之间相抵并磁力连接，形成环形结构，所述半圆形夹持部上端与圆形基片伸出真空吸盘部分的下端对应，且在半圆形夹持部上连接有竖向设置的伸缩杆，所述伸缩杆与所述翻转装置连接。

2.根据权利要求1所述的方形基片的生产设备，其特征在于：所述滴胶装置包括可竖向伸缩的支撑臂，设置于支撑臂上的胶嘴，以及与胶嘴通过胶管连接的胶瓶。

3.根据权利要求1所述的方形基片的生产设备，其特征在于：所述半圆形夹持部上端设置有真空槽，所述真空槽内设置有真空孔，所述真空孔通过真空管与真空泵连接。

4.根据权利要求1所述的方形基片的生产设备，其特征在于：所述翻转装置包括与夹持装置连接的第一支撑杆，以及与裂片盒连接的第二支撑杆，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆之间连接的伺服旋转电机。

5.一种方形基片的生产方法，采用权利要求1-4任一权利要求所述的生产设备，其特征在于：包括以下步骤：

S1、固定圆形基片；

在真空吸盘上表面产生的负压固定圆形基片，圆形基片的尺寸大于真空吸盘的尺寸，以使部分圆形基片位于真空吸盘外侧；

S2、旋涂胶液

滴胶装置在圆形基片上表面滴压印胶，通过电机驱动真空吸盘转动，使圆形基片上表面压印胶均匀旋涂；

S3、夹取收纳

两半圆形夹持部相向转动，半圆形夹持部位于圆形基片的下端，通过磁体之间相抵并产生磁力连接，使两半圆形夹持部形成一整体，半圆形夹持部向上移动，使半圆形夹持部的上表面与圆形基片的下表面相抵，通过半圆形夹持部上的真空槽内产生真空吸附圆形基片，真空吸盘释放圆形基片，取下圆形基片，翻转装置带动夹持装置翻转180°，圆形基片背面朝上放置在裂片盒内；

S4、切割

启动激光切割器，在圆形基片上切割出设定好边长的方形。

6.根据权利要求5所述的方形基片的生产方法，其特征在于：在步骤S4中，切割时，在圆形基片上先切割出平行的两边。