[发明专利]承载装置及承载系统

权利要求书

1.一种承载装置，其特征在于，所述承载装置包括承载本体、吸附件以及驱动装置，所述承载本体的承载面一侧设有多个容置槽，所述容置槽的底部设有通孔，所述驱动装置贯穿所述通孔设置，所述吸附件的一端设有吸附面，所述吸附面与待测件吸附连接，所述吸附件的另一端收容于所述容置槽内，并与所述驱动装置连接；

所述吸附件开设有吸附孔，所述吸附孔贯穿所述吸附件，并与真空气路连通，所述吸附孔用于对所述待测件进行吸附；

所述驱动装置用于带动所述吸附件沿所述承载面的法线方向往复移动。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述容置槽沿所述承载本体的承载面的周向均匀间隔分布，每一个所述容置槽与一个所述吸附件一一对应设置。

3.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述容置槽沿所述容置槽的底部向所述承载面的内径逐渐增大。

4.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述吸附件包括吸附部与支撑部，所述支撑部的一端与所述驱动装置连接，另一端与所述吸附部活动连接，所述吸附孔贯穿所述吸附部与所述支撑部设置，所述支撑部的直径小于所述容置槽的内径，所述吸附部的直径大于所述容置槽的内径。

5.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，所述承载本体的所述承载面一侧设有定位凹槽，所述定位凹槽与所述容置槽的共心设置，所述定位凹槽的内径与所述吸附部的直径相同。

6.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，所述吸附件还包括转动件，所述转动件的一端与所述支撑部连接，另一端与所述吸附部连接，所述转动件用以带动所述吸附部转动。

7.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，所述支撑部靠近所述吸附部的一侧开设有转动凹槽，所述吸附部靠近所述支撑部的一侧设有转动凸起，所述转动凹槽与所述转动凸起活动连接。

8.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，所述容置槽的底部为第一弧面结构，所述支撑部的底部为第二弧面结构，所述第一弧面结构的曲率半径大于或等于所述第二弧面结构的曲率半径。

9.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，所述吸附部与所述支撑部可拆卸连接，所述吸附孔贯穿所述吸附部与所述支撑部设置。

10.一种承载系统，其特征在于，所述承载系统包括如权利要求1-9所述的承载装置。