[发明专利]一种12寸边缘剥离机在审
| 申请号： | 202110324234.1 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113053788A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 马胜南 | 申请（专利权）人： | 南轩（天津）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300200 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 12 边缘 剥离 | ||
1.一种12寸边缘剥离机，包括外壳体(1)、平移机械臂(11)和酸液箱(5)，其特征在于：所述外壳体(1)一端通过螺栓安装有酸液箱(5)，所述酸液箱(5)的一侧通过螺钉安装有搅拌电机(7)，所述酸液箱(5)的顶部通过螺钉安装有计量泵(6)，所述外壳体(1)的内部通过底部安装架及螺栓安装有平移机械臂(11)，所述平移机械臂(11)的一端通过限位架设置有刻蚀槽(12)，所述平移机械臂(11)的另一端通过定位座设置有清洗槽(14)，所述清洗槽(14)的一侧通过挂架设置有氮气罐(3)，所述氮气罐(3)的一端通过螺钉安装有电磁阀(4)，所述清洗槽(14)内壁一端通过螺钉安装有喷气头(9)，所述清洗槽(14)的内壁两侧通过螺钉安装有光电对射开关(10)，所述清洗槽(14)的一端设置有甩干槽(2)。
2.根据权利要求1所述的一种12寸边缘剥离机，其特征在于：所述氮气罐(3)与喷气头(9)之间通过输气管相连，且输气管上设置有电磁阀(4)。
3.根据权利要求1所述的一种12寸边缘剥离机，其特征在于：所述光电对射开关(10)的输出端与电磁阀(4)的输入端通过导线相连。
4.根据权利要求1所述的一种12寸边缘剥离机，其特征在于：所述计量泵(6)的输入端位于酸液箱(5)内，所述计量泵(6)的输出端通过管道与清洗槽(14)相连。
5.根据权利要求1所述的一种12寸边缘剥离机，其特征在于：所述计量泵(6)的一端设置有添加口(8)，所述搅拌电机(7)的输出轴连接搅拌叶(13)，且搅拌叶(13)位于酸液箱(5)内。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
