[发明专利]电阻映射装置、电阻测定装置、电阻测定方法、程序以及记录介质

权利要求书

1.一种电阻映射装置，具备：

第一芯片，具有第一面以及位于所述第一面的相反侧的第二面，在所述第一面设有多个第一电极；

第二芯片，具有与所述第一面对置的第三面以及位于所述第三面的相反侧的第四面，在所述第三面设有与所述多个第一电极对应的多个第二电极；以及

测定部，与所述多个第一电极和所述多个第二电极电连接，在所述第一芯片与所述第二芯片之间配置有测定对象物的状态下，能够在所述测定对象物中测定所述多个第一电极和所述多个第二电极中的相互对应的各第一电极与第二电极之间的部分的电阻，取得使电阻的测定值与所述测定对象物中的和所述多个第一电极的每一个对应的位置相关联的映射数据。

2.如权利要求1所述的电阻映射装置，

所述电阻映射装置还具备位置调整机构，该位置调整机构调整所述多个第一电极与所述多个第二电极的相对位置。

3.如权利要求1或2所述的电阻映射装置，

所述第一芯片还具有第三电极，该第三电极设于所述第一面，并与所述多个第一电极中的一个第一电极相邻，

所述第二芯片还具有第四电极，该第四电极设于所述第三面，并与所述第三电极对应，

所述测定部测定所述一个第一电极和所述多个第二电极中的与所述一个第一电极对应的一个第二电极之间的电流以及所述第三电极和所述第四电极之间的电压，基于所述电流的测定值以及所述电压的测定值，测定在所述测定对象物中被所述一个第一电极、所述一个第二电极、所述第三电极以及所述第四电极包围的部分的电阻。

4.如权利要求1所述的电阻映射装置，

所述第一芯片还具有多个第一贯通电极，该多个第一贯通电极与所述多个第一电极分别电连接，并在从所述第一面朝向所述第二面的方向上延伸。

5.如权利要求4所述的电阻映射装置，

所述电阻映射装置还具备第一布线基板，该第一布线基板安装于所述第二面，具有能够将所述多个第一贯通电极的每一个与所述测定部连接的多条第一布线，且俯视时的面积比俯视时的所述第一芯片的面积大。

6.如权利要求1所述的电阻映射装置，

所述第二芯片还具有多个第二贯通电极，该多个第二贯通电极与所述多个第二电极分别电连接，并在从所述第三面朝向所述第四面的方向上延伸。

7.如权利要求6所述的电阻映射装置，

所述电阻映射装置还具备第二布线基板，该第二布线基板安装于所述第四面，具有能够将所述多个第二贯通电极的每一个与所述测定部连接的多条第二布线，俯视时的面积比俯视时的所述第二芯片的面积大。

8.如权利要求1所述的电阻映射装置，

所述多个第一电极和所述多个第二电极分别为凸块。

9.如权利要求1所述的电阻映射装置，

所述多个第一电极和所述多个第二电极分别为导线。

10.如权利要求1所述的电阻映射装置，

所述多个第一电极和所述多个第二电极分别为板簧或MEMS即微型机电系统。

11.一种电阻测定装置，具备：

第一芯片，具有第一面以及位于所述第一面的相反侧的第二面，在所述第一面设有多个第一电极；

第二芯片，具有与所述第一面对置的第三面以及位于所述第三面的相反侧的第四面，在所述第三面设有与所述多个第一电极对应的多个第二电极；以及

测定部，与所述多个第一电极和所述多个第二电极电连接，在所述第一芯片与所述第二芯片之间配置有测定对象物的状态下，能够在所述测定对象物中测定所述多个第一电极中的一个第一电极与所述多个第二电极中的一个第二电极之间的部分的电阻和所述多个第一电极中的另一个第一电极与所述多个第二电极中的另一个第二电极之间的部分的电阻。