[发明专利]电阻映射装置、电阻测定装置、电阻测定方法、程序以及记录介质

说明书

提供一种能获得测定对象物的电阻分布的电阻映射装置、电阻测定装置、电阻测定方法、程序及记录介质。电阻映射装置具备：第一芯片，具有第一面以及位于第一面的相反侧的第二面，在第一面设有多个第一电极；第二芯片，具有与第一面对置的第三面以及位于第三面的相反侧的第四面，在第三面设有与多个第一电极对应的多个第二电极；以及测定部，与多个第一电极和多个第二电极电连接，在第一芯片与第二芯片之间配置有测定对象物的状态下，能够在测定对象物中测定多个第一电极和多个第二电极中的相互对应的各第一电极与第二电极之间的部分的电阻，取得使电阻的测定值与在测定对象物中与多个第一电极分别对应的位置相关联的映射数据。

技术领域

实施方式涉及电阻映射装置、电阻测定装置、电阻测定方法、程序以及记录介质。

背景技术

以往以来，已知有在一对电极之间配置有测定对象物的状态下，对一对电极之间施加电压来测定测定对象物的电阻的万用表等电阻测定装置。然而，在这样的电阻测定装置中，存在在测定对象物中只能测定一对电极之间的部分的电阻的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007－309797号公报

发明内容

发明要解决的课题

实施方式的目的在于提供一种能够获得测定对象物的电阻分布的电阻映射装置、电阻测定装置、电阻测定方法、程序以及记录介质。

用来解决课题的手段

实施方式的电阻映射装置具备：第一芯片，具有第一面以及位于所述第一面的相反侧的第二面，在所述第一面设有多个第一电极；第二芯片，具有与所述第一面对置的第三面以及位于所述第三面的相反侧的第四面，在所述第三面设有与所述多个第一电极对应的多个第二电极；以及测定部，与所述多个第一电极和所述多个第二电极电连接，在所述第一芯片与所述第二芯片之间配置有测定对象物的状态下，能够在所述测定对象物中测定所述多个第一电极和所述多个第二电极中的相互对应的各第一电极与第二电极之间的部分的电阻，取得使电阻的测定值与在所述测定对象物中与所述多个第一电极分别对应的位置相关联的映射数据。

实施方式的电阻测定装置具备：第一芯片，具有第一面以及位于所述第一面的相反侧的第二面，在所述第一面设有多个第一电极；第二芯片，具有与所述第一面对置的第三面以及位于所述第三面的相反侧的第四面，在所述第三面设有与所述多个第一电极对应的多个第二电极；以及测定部，与所述多个第一电极和所述多个第二电极电连接，在所述第一芯片与所述第二芯片之间配置有测定对象物的状态下，能够在所述测定对象物中测定所述多个第一电极中的一个第一电极与所述多个第二电极中的一个第二电极之间的部分的电阻和所述多个第一电极中的另一个第一电极与所述多个第二电极中的另一个第二电极之间的部分的电阻。

实施方式的电阻测定装置具备：芯片，具有第一面以及位于所述第一面的相反侧的第二面，在所述第一面设有多个第一电极；导电部件，能够以与所述多个第一电极对置的方式配置；以及测定部，与所述多个第一电极以及所述导电部件电连接，在所述多个第一电极与所述导电部件之间配置有测定对象物的状态下，能够在所述测定对象物中测定所述多个第一电极中的一个第一电极与所述导电部件之间的部分的电阻和所述多个第一电极中的另一个第一电极与所述导电部件之间的部分的电阻。

实施方式的电阻测定方法具备：在第一芯片与第二芯片之间配置测定对象物的步骤，该第一芯片具有第一面以及位于所述第一面的相反侧的第二面，在所述第一面设有多个第一电极，该第二芯片具有与所述第一面对置的第三面以及位于所述第三面的相反侧的第四面，在所述第三面设有与所述多个第一电极对应的多个第二电极；以及在所述测定对象物中测定所述多个第一电极中的一个第一电极与多个第二电极中的一个第二电极之间的部分的电阻和所述多个第一电极中的另一个第一电极与所述多个第二电极中的另一个第二电极之间的部分的电阻的步骤。