[发明专利]非晶硅靶材承载装置

权利要求书

1.非晶硅靶材承载装置，其特征在于，包括：用于夹持板状非晶硅靶材的上夹板和下夹板，用于支承上夹板和下夹板的顶板，以及与顶板连接、且用于驱动顶板移动的移动装置；

所述顶板平置，顶板设有第一镂空区域，顶板底面还螺纹连接多个竖置螺丝，该多个螺丝位于第一镂空区域外围；移动装置位于第一镂空区域外围；

所述上夹板平置在顶板正下方，上夹板设有第二镂空区域，第二镂空区域位于第一镂空区域正下方，且第一镂空区域在上夹板上的投影不超出第二镂空区域；上夹板被上述多个螺丝贯穿，且该多个螺丝位于第二镂空区域外围；

所述下夹板平置在上夹板正下方，下夹板设有第三镂空区域，第三镂空区域位于第二镂空区域正下方，且第二镂空区域在下夹板上的投影不超出第三镂空区域；下夹板也被上述多个螺丝贯穿，且该多个螺丝位于第三镂空区域外围；

上述多个螺丝分别套装有弹簧，且该多个螺丝上的弹簧都被压缩在上夹板和顶板之间。

2.根据权利要求1所述的非晶硅靶材承载装置，其特征在于，上述多个螺丝还分别套装有垫片，且该多个螺丝上的垫片都设在上夹板和下夹板之间；且各垫片的厚度都小于板状非晶硅靶材的厚度。

3.根据权利要求1或2所述的非晶硅靶材承载装置，其特征在于，所述上夹板的边沿设有上把手。

4.根据权利要求3所述的非晶硅靶材承载装置，其特征在于，所述下夹板的边沿设有下把手。

5.根据权利要求1所述的非晶硅靶材承载装置，其特征在于，所述顶板、上夹板和下夹板都为矩形。

6.根据权利要求5所述的非晶硅靶材承载装置，所述第一镂空区域、第二镂空区域和第三镂空区域为矩形。

7.根据权利要求6所述的非晶硅靶材承载装置，所述顶板底面螺纹连接的螺丝数量为四个，该四个螺丝分别位于顶板、上夹板和下夹板的四角。

8.根据权利要求1所述的非晶硅靶材承载装置，所述上夹板的厚度为0.05～2mm。

9.根据权利要求1所述的非晶硅靶材承载装置，所述下夹板的厚度为0.05～2mm。

10.根据权利要求2所述的非晶硅靶材承载装置，所述垫片的厚度为0.05～2mm。