[发明专利]一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构

权利要求书

1.一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：包括上端与单晶硅连接的内轴组件(1)、夹持单晶硅下端的夹持组件(4)，所述内轴组件(1)外侧设置夹持器大盘(2)，所述夹持器大盘(2)下侧固接下轴(3)，所述夹持器大盘(2)中部设置内轴组件穿过的过孔，所述下轴(3)中部设置内轴组件穿过的通孔，所述夹持器大盘(2)上表面固设夹持组件(4)。

2.根据权利要求1所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：所述内轴组件(1)包括轴尖(11)和设置于轴尖下侧的内轴(12)，所述轴尖(11)和内轴(12)之间设置轴尖导向环(13)，所述轴尖导向环(13)直径大于轴尖(11)直径；

所述下轴(3)为圆筒型，所述轴尖导向环(13)设置于下轴(3)通孔内，所述轴尖导向环(13)外径与下轴(3)通孔内径对应。

3.根据权利要求2所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：所述轴尖(11)上端固接有同轴的延长杆(14)，所述延长杆(14)上端设置籽晶夹头(15)，所述籽晶夹头(15)通过籽晶夹头固定座(16)安装在延长杆(14)上。

4.根据权利要求3所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：所述籽晶夹头(15)上端、籽晶夹头固定座(16)下端、夹持器大盘(2)上端均设置防烫钼片。

5.根据权利要求1所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：所述夹持组件(4)包括多个立柱(41)，多个立柱周向等距设置于夹持器大盘(2)上端面，多个立柱(41)通过紧固环(42)固接，所述紧固环(42)上端面对应立柱(41)外侧固接拨片柱(43)所述拨片柱(43)上端设置转轴，所述转轴处铰接朝向内轴组件(1)的销子拨片(44)，所述销子拨片(44)在临近内轴组件(1)的上端面垂直设置销子杆(45)，所述立柱(41)上端对应销子杆(45)设置斜孔，所述销子杆(45)上端垂直固接夹持片(46)；

所述销子拨片(44)向远离内轴组件一侧延伸有硬质杆(47)，所述硬质杆(47)在远离销子拨片(44)的一端固接软钢丝(48)。

6.根据权利要求5所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：所述夹持片(46)靠近内轴组件处有内凹圆弧(461)，所述内凹圆弧(461)与单晶硅下端扩肩侧壁贴合夹持。

7.根据权利要求5所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：所述夹持片(46)材质为防烫钼片。