[发明专利]一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构

说明书

本发明提供了一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，包括上端与单晶硅连接的内轴组件、夹持单晶硅下端的夹持组件，所述内轴组件外侧设置夹持器大盘，所述夹持器大盘下侧固接下轴，所述夹持器大盘中部设置内轴组件穿过的过孔，所述下轴中部设置内轴组件穿过的通孔，所述夹持器大盘上表面固设夹持组件。本发明所述的内轴组件和下轴配合封闭夹持器大盘依次向下移动，减少单晶炸裂流熔时损伤内轴组件结构，同时通过夹持器大盘封闭盖住下轴上端更好的保护下轴内壁。

技术领域

本发明属于单晶硅生产领域，尤其是涉及一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构。

背景技术

生产单晶硅的质量要求比较高，但是常规内轴结构中夹持器大盘为非封闭结构，使内轴组件暴露在外面，如果下轴内壁烫伤，会造成内轴移动时出现抖动，严重会影响到引颈和扩肩的过程，造成拉肩失败，也会造成生产损失，所示设置一种夹持器大盘封闭并配合封闭的夹持器大盘的内轴和下轴就尤为重要。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在提出一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，以内轴组件和下轴配合封闭夹持器大盘依次向下移动，减少单晶炸裂流熔时损伤内轴组件结构，同时通过夹持器大盘封闭盖住下轴上端更好的保护下轴内壁。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，包括上端与单晶硅连接的内轴组件、夹持单晶硅下端的夹持组件，所述内轴组件外侧设置夹持器大盘，所述夹持器大盘下侧固接下轴，所述夹持器大盘中部设置内轴组件穿过的过孔，所述下轴中部设置内轴组件穿过的通孔，所述夹持器大盘上表面固设夹持组件。

进一步的，所述内轴组件包括轴尖和设置于轴尖下侧的内轴，所述轴尖和内轴之间设置轴尖导向环，所述轴尖导向环直径大于轴尖直径；

所述下轴为圆筒型，所述轴尖导向环设置于下轴内侧，所述轴尖导向环外径与下轴内径对应。

进一步的，所述轴尖上端固接有同轴的延长杆，所述延长杆上端设置籽晶夹头，所述籽晶夹头通过籽晶夹头固定座安装在延长杆上。

进一步的，所述籽晶夹头上端、籽晶夹头固定座下端、夹持器大盘上端均设置防烫钼片。

进一步的，所述夹持组件包括多个立柱，多个立柱周向等距设置于夹持器大盘上端面，多个立柱通过紧固环固接，所述紧固环上端面对应立柱外侧固接拨片柱所述拨片柱上端设置转轴，所述转轴处铰接朝向内轴组件的销子拨片，所述销子拨片在临近内轴组件的上端面垂直设置销子杆，所述立柱上端对应销子杆设置斜孔，所述销子杆上端垂直固接夹持片；

所述销子拨片向远离内轴组件一侧延伸有硬质杆，所述硬质杆在远离销子拨片的一端固接软钢丝。

进一步的，所述夹持片靠近内轴组件处有内凹圆弧，所述内凹圆弧与单晶硅下端扩肩侧壁贴合夹持。

进一步的，所述夹持片材质为防烫钼片。

相对于现有技术，本发明所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构具有以下有益效果：

(1)本发明所述的以内轴组件先转动向下移动，到夹持组件可以夹持到单晶硅的下端的合适位置，下轴开始转动，带动整个结构向下移动，这样可以使内轴组件一部分运动到下轴内，减少单晶炸裂流熔时损伤结构，同时通过夹持器大盘盖住上端更好的保护下轴内壁。

(2)本发明所述的所述延长杆起到轴尖加长的作用，可根据需要更换长度，并且在轴尖向下移动到下轴内，上侧的延长杆被单晶炸裂流熔物损伤时，更换更加便捷，无需更换整个轴尖。

(3)本发明所述的防烫钼片自上向下设置有三层，减少高热量造成的部件烫伤，也限制单晶炸裂流熔时流入下轴内，减少下轴内壁的损伤。

附图说明