[发明专利]三氯氢硅生产的湿法除尘系统

权利要求书

1.一种三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，包括：

洗涤器，所述洗涤器具有间隔布置的第一开口和第二开口，含尘气体适于通过所述第一开口进入所述洗涤器内；

气液分离器，所述气液分离器具有排气口和排液口，所述气液分离器与所述第二开口连通；

喷淋塔，所述喷淋塔具有进气口、进液口和出液口，所述进气口与所述排气口连通，所述进液口与所述排液口连通；

喷淋管，所述喷淋管的一端伸入所述洗涤器内，所述喷淋管的另一端与所述出液口连通，所述喷淋管在所述洗涤器内的喷射方向与含尘气体在所述洗涤器内的流动方向相反；

循环泵，所述循环泵设在所述喷淋管上，所述循环泵用于驱动所述喷淋塔内的液体通过所述喷淋管流入所述洗涤器内。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述喷淋管包括供液管和喷嘴，所述供液管的一端伸入所述洗涤器内并与位于所述洗涤器内的所述喷嘴连接，所述供液管的另一端与所述出液口连通，所述喷嘴为锥形管或螺旋管。

3.根据权利要求2所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述喷嘴喷淋的作用面积与所述洗涤器的横截面积相等。

4.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述出液口邻近所述喷淋塔的底部。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述喷淋塔的顶部具有出气口，所述喷淋塔的侧壁具有第一回流口，所述第一回流口位于所述进气口的上方，

所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统还包括冷凝器、供气管和回流管，所述供气管的一端与所述出气口连通，所述供气管的另一端与所述冷凝器的一端相连，所述回流管的一端与所述第一回流口连通，所述回流管的另一端与所述冷凝器的另一端相连。

6.根据权利要求5所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，还包括精馏装置，所述精馏装置与所述冷凝器的另一端相连。

7.根据权利要求5所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述喷淋塔的侧壁还具有第二回流口，

所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统还包括支管，所述支管的一端与所述第二回流口连通，所述支管的另一端与所述喷淋管连通，所述第二回流口位于所述进气口上方。

8.根据权利要求7所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述第二回流口位于所述进气口与所述第一回流口之间。

9.根据权利要求8所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述喷淋塔的底部具有容渣槽，所述喷淋塔内设有第一填料层和第二填料层，所述第一填料层位于所述第一回流口与所述第二回流口之间，所述第二填料层位于所述进气口与所述第二回流口之间。