[发明专利]三氯氢硅生产的湿法除尘系统

说明书

本发明公开了一种三氯氢硅生产的湿法除尘系统，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统包括洗涤器、气液分离器、喷淋塔、喷淋管和循环泵，洗涤器具有间隔布置的第一开口和第二开口，含尘气体适于通过第一开口进入洗涤器内，气液分离器具有排气口和排液口，气液分离器与第二开口连通，喷淋塔具有进气口、进液口和出液口，进气口与排气口连通，进液口与排液口连通，喷淋管的一端伸入洗涤器内，喷淋管的另一端与出液口连通，喷淋管在洗涤器内的喷射方向与含尘气体在洗涤器内的流动方向相反，循环泵设在喷淋管上，循环泵用于驱动喷淋塔内的液体通过喷淋管流入洗涤器内。本发明实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统除除尘效果好，不易堵塞。

技术领域

本发明涉及三氯氢硅合成气的除尘技术领域，具体地，涉及一种三氯氢硅生产的湿法除尘系统。

背景技术

多晶硅作为制造集成电路衬底、太阳能电池等产品的主要原料，是发展信息产业和新能源产业的重要基石，多晶硅的生产需要消耗三氯氢硅，但三氯氢硅的生产会产生含尘的合成气，严重污染环境。

相关技术中的除尘系统包括干式除尘和湿法除尘，干式除尘包括式过滤器或陶瓷过滤器，除尘效率较低，微小颗粒不能被拦截，湿法除尘包括湿法除尘淋洗塔或筛板塔，存在冷凝器和管道易堵塞的问题。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本发明的实施例提出一种三氯氢硅生产的湿法除尘系统，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统除尘效果高，不易堵塞。

根据本发明实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统包括：洗涤器，所述洗涤器具有间隔布置的第一开口和第二开口，含尘气体适于通过所述第一开口进入所述洗涤器内；气液分离器，所述气液分离器具有排气口和排液口，所述气液分离器与所述第二开口连通；喷淋塔，所述喷淋塔具有进气口、进液口和出液口，所述进气口与所述排气口连通，所述进液口与所述排液口连通；喷淋管，所述喷淋管的一端伸入所述洗涤器内，所述喷淋管的另一端与所述出液口连通，所述喷淋管在所述洗涤器内的喷射方向与含尘气体在所述洗涤器内的流动方向相反；循环泵，所述循环泵设在所述喷淋管上，所述循环泵用于驱动所述喷淋塔内的液体通过所述喷淋管流入所述洗涤器内。

根据本发明实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，通过设置喷淋管在洗涤器内的喷射方向与含尘气体在洗涤器内的流动方向相反，可以使含尘气体与喷淋管喷出的液体接触更充分，提高除尘效率和除尘效果，避免部件(例如喷淋管和喷淋塔)堵塞。

在一些实施例中，所述喷淋管包括供液管和喷嘴，所述供液管的一端伸入所述洗涤器内并与位于所述洗涤器内的所述喷嘴连接，所述供液管的另一端与所述出液口连通，所述喷嘴为锥形管或螺旋管。

在一些实施例中，所述喷嘴喷淋的作用面积与所述洗涤器的横截面积相等。

在一些实施例中，所述出液口邻近所述喷淋塔的底部。

在一些实施例中，所述喷淋塔的顶部具有出气口，所述喷淋塔的侧壁具有第一回流口，所述第一回流口位于所述进气口的上方，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统还包括冷凝器、供气管和回流管，所述供气管的一端与所述出气口连通，所述供气管的另一端与所述冷凝器的一端相连，所述回流管的一端与所述第一回流口连通，所述回流管的另一端与所述冷凝器的另一端相连。

在一些实施例中，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统还包括精馏装置，所述精馏装置与所述冷凝器的另一端相连。

在一些实施例中，所述喷淋塔的侧壁还具有第二回流口，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统还包括支管，所述支管的一端与所述第二回流口连通，所述支管的另一端与所述喷淋管连通，所述第二回流口位于所述进气口上方。

在一些实施例中，所述第二回流口位于所述进气口与所述第一回流口之间。