[发明专利]一种12寸边缘刻蚀机在审
| 申请号： | 202110338377.8 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN112885757A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 马胜南 | 申请（专利权）人： | 南轩（天津）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300200 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 12 边缘 刻蚀 | ||
1.一种12寸边缘刻蚀机，包括外壳体(5)、一号平移机械臂(11)和二号平移机械臂(12)，其特征在于：所述外壳体(5)的一端通过螺栓安装有储液罐(8)，所述储液罐(8)的顶部通过限位座设置有计量泵(9)，所述外壳体(5)的另一端通过安装座安装有编程控制器(1)，所述外壳体(5)内通过限位座及螺栓安装有一号平移机械臂(11)，且一号平移机械臂(11)的一端设置有二号平移机械臂(12)，所述一号平移机械臂(11)和二号平移机械臂(12)的一侧均通过固定架设置有水洗槽(6)，所述水洗槽(6)的一端通过限位座安装有刻蚀槽(4)，所述水洗槽(6)的另一端通过螺栓设置有甩干槽(7)，所述刻蚀槽(4)内通过螺栓安装有喷射管(15)，所述喷射管(15)一端设置有喷射头(13)，且喷射管(15)上设置有气压计(14)，所述刻蚀槽(4)的底部通过卡箍分别安装有氮气罐(2)和酸洗罐(16)，所述氮气罐(2)和酸洗罐(16)分别通过一号输送管(17)和二号输送管(18)与喷射管(15)相连。
2.根据权利要求1所述的一种12寸边缘刻蚀机，其特征在于：所述编程控制器(1)的输出端与一号平移机械臂(11)和二号平移机械臂(12)的输入端通过导线相连。
3.根据权利要求1所述的一种12寸边缘刻蚀机，其特征在于：所述一号平移机械臂(11)和二号平移机械臂(12)的输出端连接夹持手(10)。
4.根据权利要求1所述的一种12寸边缘刻蚀机，其特征在于：所述计量泵(9)的输入端位于储液罐(8)内，所述计量泵(9)的输出端通过管道连接水洗槽(6)。
5.根据权利要求1所述的一种12寸边缘刻蚀机，其特征在于：所述一号输送管(17)和二号输送管(18)上均设置有电磁阀(3)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
