[发明专利]驱动设备和蒸镀系统有效

专利信息
申请号: 202110341010.1 申请日: 2021-03-30
公开(公告)号: CN113088915B 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 张志强;白玉庭;张永强;张超 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54;C23C14/50;C23C14/24
代理公司: 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 代理人: 吴大建;金淼
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 驱动 设备 系统
【权利要求书】:

1.一种驱动设备,其特征在于,包括主驱动电机、传动装置、调节驱动电机和控制装置;

所述传动装置包括主传动机构、调节传动机构、第一抱紧机构、第二抱紧机构和传动基台;

所述主传动机构的第一端和所述调节传动机构的第一端通过所述第一抱紧机构连接或断开;

所述调节传动机构的第二端和所述调节驱动电机的动力输出端通过所述第二抱紧机构连接或断开;

所述主传动机构的第二端与所述主驱动电机的动力输出端相连;

所述主传动机构的第三端与所述传动基台的一侧驱动连接,所述调节传动机构的第三端与所述传动基台的另一侧驱动连接;

所述主驱动电机、所述调节驱动电机、所述第一抱紧机构和所述第二抱紧机构分别与所述控制装置电连接;

所述控制装置用于在监测到目标对象为倾斜状态时,控制所述第一抱紧机构断开、控制所述第二抱紧机构吸合、控制所述主驱动电机停止运行、控制所述调节驱动电机运行,使得所述调节驱动电机通过所述调节传动机构带动所述传动基台移动,以对所述目标对象进行水平调节。

2.根据权利要求1所述的驱动设备,其特征在于,所述控制装置还用于在监测到所述目标对象为水平状态时,控制所述第一抱紧机构吸合、控制所述第二抱紧机构断开、控制所述调节驱动电机停止运行、控制所述主驱动电机运行,使得所述主驱动电机通过所述主传动机构和所述调节传动机构带动所述传动基台移动,以带动所述目标对象移动。

3.根据权利要求1所述的驱动设备,其特征在于,所述主传动机构包括主传动部件、主驱动连接杆和主移动杆;

所述主传动部件的第一端与所述主驱动连接杆的第一端相连,所述主驱动连接杆的第二端作为所述主传动机构的第一端与所述调节传动机构的第一端通过所述第一抱紧机构连接或断开;

所述主传动部件的第二端作为所述主传动机构的第二端与所述主驱动电机的动力输出端相连;

所述主传动部件的第三端与所述主移动杆的第一端连接,所述主移动杆的第二端作为所述主传动机构的第三端与所述传动基台驱动连接。

4.根据权利要求3所述的驱动设备,其特征在于,所述主移动杆的轴向与所述主驱动连接杆的轴向垂直。

5.根据权利要求1所述的驱动设备,其特征在于,所述调节传动机构包括调节传动部件、调节驱动连接杆和调节移动杆;

所述调节传动部件的第一端与所述调节驱动连接杆的第一端相连,所述调节驱动连接杆的第二端作为所述调节传动机构的第一端与所述主传动机构的第一端通过所述第一抱紧机构连接或断开;

所述调节传动部件的第二端作为所述调节传动机构的第二端与所述调节驱动电机的动力输出端通过所述第二抱紧机构连接或断开;

所述调节传动部件的第三端与所述调节移动杆的第一端相连,所述调节移动杆的第二端作为所述调节传动机构的第三端与所述传动基台连接。

6.根据权利要求5所述的驱动设备,其特征在于,所述调节移动杆的轴向与所述调节驱动连接杆的轴向垂直。

7.根据权利要求1所述的驱动设备,其特征在于,还包括用于支撑所述主传动机构和所述调节传动机构的支撑机构;

所述支撑机构与所述主传动机构的第一端以及所述调节传动机构的第一端固定连接。

8.根据权利要求6所述的驱动设备,其特征在于,还包括联轴器;

所述主传动机构的第二端通过联轴器与所述主驱动电机的动力输出端相连。

9.根据权利要求1所述的驱动设备,其特征在于,所述第一抱紧机构和/或所述第二抱紧机构包括电磁抱闸。

10.根据权利要求1所述的驱动设备,其特征在于,所述控制装置包括水平检测器和控制器;

所述主驱动电机、所述调节驱动电机、所述第一抱紧机构和所述第二抱紧机构分别与所述控制器电连接;

所述水平检测器,设置在所述目标对象上,用于监测所述目标对象的状态,且所述水平检测器与所述控制装置电连接。

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