[发明专利]驱动设备和蒸镀系统

说明书

本发明公开了一种驱动设备和蒸镀系统，包括主驱动电机、传动装置、调节驱动电机和控制装置；所述传动装置包括主传动机构、调节传动机构、第一抱紧机构、第二抱紧机构和传动基台，所述控制装置用于在监测到目标对象为倾斜状态时，控制所述第一抱紧机构断开、控制所述第二抱紧机构吸合、控制所述主驱动电机停止运行、控制所述调节驱动电机运行，使得所述调节驱动电机通过所述调节传动机构带动所述传动基台移动，以对所述目标对象进行水平调节，实现了在蒸镀腔室外部直接对需要调整基板基台水平度，无需在真空腔室降温后进行排气处理之后再使用水平尺测量后进行调整。采用本发明的技术方案，能够降低材料的损耗，提高产品的产能。

技术领域

本发明属于蒸镀技术领域，具体涉及一种驱动设备和蒸镀系统。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)器件中的有机材料层的主流制备方法之一是蒸镀法。通常情况下，蒸镀腔室内的基板基台经过长时间旋转运动后，基板基台会发生倾斜，造成阵列基板与掩膜板在进行3um对位精度后无法进行紧密水平贴合。

现有技术中，由于调节基板基台水平度的螺栓在真空腔室，若需要调整基板基台水平度，需要在真空腔室降温后进行排气处理之后再使用水平尺测量后进行调整，大大浪费材料的损耗与降低产品的产能。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种驱动设备和蒸镀系统，以解决现有技术中在需要调整基板基台水平度，需要在真空腔室降温后进行排气处理之后再使用水平尺测量后进行调整，大大浪费材料的损耗与降低产品的产能的问题。

针对上述问题，本发明提供了一种驱动设备，包括主驱动电机、传动装置、调节驱动电机和控制装置；

所述传动装置包括主传动机构、调节传动机构、第一抱紧机构、第二抱紧机构和传动基台；

所述主传动机构的第一端和所述调节传动机构的第一端通过所述第一抱紧机构连接或断开；

所述调节传动机构的第二端和所述调节驱动电机的动力输出端通过所述第二抱紧机构连接或断开；

所述主传动机构的第二端与所述主驱动电机的动力输出端相连；

所述主传动机构的第三端与所述传动基台的一侧驱动连接，所述调节传动机构的第三端与所述传动基台的另一侧驱动连接；

所述主驱动电机、所述调节驱动电机、所述第一抱紧机构和所述第二抱紧机构分别与所述控制装置电连接；

所述控制装置用于在监测到目标对象为倾斜状态时，控制所述第一抱紧机构断开、控制所述第二抱紧机构吸合、控制所述主驱动电机停止运行、控制所述调节驱动电机运行，使得所述调节驱动电机通过所述调节传动机构带动所述传动基台移动，以对所述目标对象进行水平调节。

进一步地，上述所述的驱动设备中，所述控制装置还用于在监测到所述目标对象为水平状态时，控制所述第一抱紧机构吸合、控制所述第二抱紧机构断开、控制所述调节驱动电机停止运行、控制所述主驱动电机运行，使得所述主驱动电机通过所述主传动机构和所述调节传动机构带动所述传动基台移动，以带动所述目标对象移动。

进一步地，上述所述的驱动设备中，所述主传动机构包括主传动部件、主驱动连接杆和主移动杆；

所述主传动部件的第一端与所述主驱动连接杆的第一端相连，所述主驱动连接杆的第二端作为所述主传动机构的第一端与所述调节传动机构的第一端通过所述第一抱紧机构连接或断开；

所述主传动部件的第二端作为所述主传动机构的第二端与所述主驱动电机的动力输出端相连；

所述主传动部件的第三端与所述主移动杆的第一端连接，所述主移动杆的第二端作为所述主传动机构的第三端与所述传动基台驱动连接。