[发明专利]大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法

权利要求书

1.大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

A.制备ITO浆料；

B.将步骤A制备的浆料加入到多孔树脂模具中，采用分区可控、由远及近固化成型方式制备ITO平面靶坯体；

C.在纯氧气氛中，将ITO平面靶坯体放入烧结炉中进行烧结，得到ITO平面靶素坯；所述的烧结炉采用多层进气管路进行烧结；

步骤B中所述的多孔树脂模具为分区可控排水结构，包括上下相互配装的树脂凸模（1）和树脂凹模（2），树脂凸模（1）和树脂凹模（2）之间形成制备ITO平面靶坯体的型腔，树脂凹模（2）的一侧设置连通型腔的进浆管（4）；所述树脂凸模（1）的内腔下部和树脂凹模（2）的内腔上部分别设置有多块多孔树脂，树脂凸模（1）内腔中的多孔树脂与树脂凹模（2）内腔中的多孔树脂上下一一相对应，相邻多孔树脂之间通过不透水塑料隔板（6）隔开，每块多孔树脂上分别设置一根垂直于多孔树脂的排水管（3）；所述进浆管（4）和排水管（3）上均设置有开关阀；

步骤B制备ITO平面靶坯体的具体方法为：

B1.打开进浆管上的开关阀，关闭所有排水管上的开关阀，将制备好的ITO浆料通入到树脂凸模（1）和树脂凹模（2）之间的型腔中；

B2.ITO平面靶坯体成型时，先开启与进浆口位置距离最远的排水阀，使远端位置先固化成型，随后依次开启距进浆口较近一些的排水阀，每次开启排水阀的时间间隔为10~15min，使分区由远及近充分完成固化成型。

2.根据权利要求1所述的大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，其特征在于，步骤C中进气管路包括水平设置的进气主管（8）和竖直设置并与进气主管连通的进气支管（9），所述进气支管顶端封闭设置，进气管上自上而下设置若干朝向承烧台上待烧结坯体的进气孔组。

3.根据权利要求2所述的大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，其特征在于，所述进气主管设置有相对的两组，每组进气主管包括相连通的水平回字形管和平直的直线管，水平回字形管位于两根直线管之间，直线管的上端面开设连通进气支管的开孔。

4.根据权利要求3所述的大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，其特征在于，所述进气支管（9）底端与直线管上的开孔之间通过高温连接头密封连接。

5.根据权利要求2所述的大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，其特征在于，所述进气支管（9）上的进气孔组包括水平排列的三个直径相同的进气孔（10），其中中间孔出口方向与承烧台侧边垂直，两侧孔与中间孔夹角60°。