[发明专利]光刻胶涂布设备的管路气泡消除方法及设备在审
| 申请号： | 202110346334.4 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113093474A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 马健超;李华;闻旭;赵春雨;葛斌;吴长明 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;H05F3/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭立 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 布设 管路 气泡 消除 方法 设备 | ||
1.一种光刻胶涂布设备的管路气泡消除方法，其特征在于，包括：
步骤S1，使光刻胶涂布设备工作一预设时间；
步骤S2，定位静电聚集部，
所述静电聚集部位于光刻胶输送管路表面和/或光刻胶储存容器表面；
步骤S3，安装静电消除装置，
所述静电消除装置包括至少一根导电装置，
将所述导电装置的一端粘贴在所述静电聚集部，
将所述导电装置的另一端固定在光刻胶涂布设备外壳的接地点。
2.如权利要求1所述的管路气泡消除方法，其特征在于：
所述步骤S1中的所述预设时间大于1小时。
3.如权利要求1所述的管路气泡消除方法，其特征在于：
所述步骤S2中的定位静电聚集部的方法为静电测试法，通过静电测量确定所述静电聚集部。
4.如权利要求1所述的管路气泡消除方法，其特征在于：
所述步骤S2中的定位静电聚集部的方法为目测法，通过目测是否有气泡聚集确定所述静电聚集部。
5.如权利要求1所述的管路气泡消除方法，其特征在于：
所述步骤S2中的所述静电聚集部为一处或多处。
6.如权利要求1所述的管路气泡消除方法，其特征在于：
所述步骤S3中的导电装置为铜铁合金材质的导线或金属片。
7.一种光刻胶涂布设备，其特征在于，包括：静电消除装置，光刻胶输送管路和光刻胶储存容器，
所述静电消除装置包括至少一根导电装置，
按前述权利要求1至5中的任一方法定位所述光刻胶输送管路表面和/或所述光刻胶储存容器表面的静电聚集部，
所述导电装置的一端粘贴在所述静电聚集部，
所述导电装置的另一端固定在所述光刻胶涂布设备外壳的接地点。
8.如权利要求7所述的光刻胶涂布设备，其特征在于：
所述导电装置粘贴在所述静电聚集部的贴合面积大于600平方毫米。
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