[发明专利]光刻胶涂布设备的管路气泡消除方法及设备

说明书

本发明公开了一种光刻胶涂布设备的管路气泡消除方法，包括：步骤S1，使光刻胶涂布设备工作一预设时间；步骤S2，定位静电聚集部，所述静电聚集部位于光刻胶输送管路表面和/或光刻胶储存容器表面；步骤S3，安装静电消除装置，所述静电消除装置包括至少一根导电装置，将所述导电装置的一端粘贴在所述静电聚集部，将所述导电装置的另一端固定在光刻胶涂布设备外壳的接地点。

技术领域

本发明涉及一种半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种光刻胶涂布设备的管路气泡消除方法及设备。

背景技术

半导体集成电路制造过程中，需要频繁使用光刻胶涂布设备，光刻胶中的气泡会影响光刻胶的涂布质量。因此现有技术已公开了光刻胶涂布设备中气泡的消除方法。例如采用真空装置的方法来排出光刻胶输送管路中的气泡，例如公开文献CN110083016A、CN110787967A、CN111897187A、CN210675762U等。但是在有些情况下，气泡会吸附在管路的管壁或光刻胶储存容器的壁上，不容易排出，尤其一些光刻胶的特性导致容易产生气泡，例如Merck Aquatar-Viii-A光刻胶，容易导致设备的气泡传感器报警，最终不得不停机采用人工介入的方式排出气泡，影响生产效率。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，如何缓解气泡吸附积聚在输送管路或光刻胶储存容器的壁上的现象，使气泡能被排泡设备自动排出，减少人工干预，提高生产效率。

本发明提供一种光刻胶涂布设备的管路气泡消除方法，包括如下步骤：

步骤S1，使光刻胶涂布设备工作一预设时间；

步骤S2，定位静电聚集部，所述静电聚集部位于光刻胶输送管路表面和/或光刻胶储存容器表面

步骤S3，安装静电消除装置，所述静电消除装置包括至少一根导电装置，将所述导电装置的一端粘贴在所述静电聚集部，将所述导电装置的另一端固定在光刻胶涂布设备外壳的接地点。

优选地，步骤S1中的所述预设时间大于1小时。

优选地，步骤S2中的定位静电聚集部的方法为静电测试法，通过静电测量确定所述静电聚集部。

优选地，步骤S2中的定位静电聚集部的方法为目测法，通过目测是否有气泡聚集确定所述静电聚集部。

优选地，步骤S2中的所述静电聚集部为一处或多处。

本发明还提供一种光刻胶涂布设备，其特征在于，包括：静电消除装置，光刻胶输送管路和光刻胶储存容器，

所述静电消除装置包括至少一根导电装置，

按前述的任一方法定位所述光刻胶输送管路表面和/或所述光刻胶储存容器表面的静电聚集部，

所述导电装置的一端粘贴在所述静电聚集部，

所述导电装置的另一端固定在所述光刻胶涂布设备外壳的接地点。

优选地，所述导电装置粘贴在所述静电聚集部的贴合面积大于600平方毫米。

本发明的技术效果如下：

可以消除光刻胶输送管路表面和光刻胶储存容器表面的气泡吸附和聚集，使气泡容易被排气设备所自动排出，延长光刻胶涂布设备工作时间，提高生产效率。

附图说明

图1为本发明光刻胶涂布设备的管路气泡消除方法的流程图。

图2为本发明的技术效果示意图。

具体实施方式

在详细说明本发明的具体实施方式前需要进一步说明，发现气泡会吸附在管路的管壁或光刻胶储存容器的壁上的原因是静电导致的并没有被现有技术所公开，因此说明能发现这一原因本身就非显而易见，经管后续的验证并不困难。