[发明专利]一种织构化氮化硅陶瓷基板及其切割方法和应用

权利要求书

1.一种基于电镀金刚石线锯切割织构化氮化硅陶瓷基板的方法，所述方法应用于织构化氮化硅陶瓷中，所述方法包括：通过电镀金刚石线锯沿着与所述织构化氮化硅陶瓷的织构化方向垂直的方向将所述织构化氮化硅陶瓷切割为织构化氮化硅陶瓷基板；

所述织构化氮化硅陶瓷固定于所述电镀金刚石线锯的载物台上，所述织构化氮化硅陶瓷的织构化方向与所述电镀金刚石线锯的金刚石线垂直；

所述电镀金刚石线锯的工件进给速度设定为0.08mm/min-0.12mm/min；

所述电镀金刚石线锯的锯丝线速度设定为30-35m/s；

所述电镀金刚石线锯的金刚石线的张紧力设定为27N-30N；

其特征在于，所述电镀金刚石线锯的金刚石线的摆动角度设定为7-9°；

所述电镀金刚石线锯的金刚石线的金刚石的目数为300-400目；

所述织构化氮化硅陶瓷基板的热导率超过100 W·m^-1·k^-1，所述织构化氮化硅陶瓷基板的表面粗糙度小于0.1μm。

2.一种织构化氮化硅陶瓷基板，其特征在于，所述织构化氮化硅陶瓷基板由权利要求1所述的基于电镀金刚石线锯切割织构化氮化硅陶瓷基板的方法制备。

3.如权利要求2所述的织构化氮化硅陶瓷基板在电子器件基板中的应用。