[发明专利]一种检测设备及检测方法

权利要求书

1.检测设备，其特征在于，包括检测组件，所述检测组件包括至少两排检测单元，不同排检测单元在待测物表面的视场区沿第一方向排列，每排检测单元包括至少两个检测单元，每排的检测单元在待测物表面形成的视场区沿第二方向排列，所述检测单元用于对待测物进行检测；所述第二方向垂直于所述第一方向；

驱动组件，被配置为驱动待测物沿第一方向和/或第二方向移动，或者驱动所述检测组件整体沿第一方向和/或第二方向移动。

2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，每一所述检测单元包括光路组件(10)和探测部件(20)；

所述光路组件(10)，用于将光源发出的光线传导至待测物表面的检测区域并将所述检测区域所形成的信号光传导至所述探测部件(20)；

所述探测部件(20)，用于根据所述信号光对所述检测区域进行检测；

检测工作时，各所述检测单元的扫描范围至少部分不重合。

3.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，各所述检测单元的光路组件(10)的光出射口(10a)位于所述待测物表面的同一侧，并且沿第一方向各所述光出射口(10a)形成多排，每一排具有至少两个间隔布置的所述光出射口(10a)，由所述检测区域反射的信号光经所述光出射口(10a)后进入所述探测部件(20)。

4.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，相邻两排所述光路组件(10)的视场区间距相等，且相邻两排所述视场区间距为L/N，每一排所述视场区的数量为M个，同一排中相邻所述视场区的间距为S/M，其中L为沿第一方向检测面的最大尺寸，S为沿垂直于所述第一方向所述待测物表面的最大尺寸。

5.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述探测部件(20)包括：管镜和探测器，所述管镜用于使所述信号光汇聚至所述探测器；

各所述探测部件(20)的光轴均平行于所述待测物表面，并且各所述探测部件(20)的光轴位于同一水平面内；

或者/和，部分所述探测部件(20)的光轴平行于所述待测物表面，并且该部分所述探测部件(20)的光轴位于同一水平面内，部分所述探测部件(20)的光轴垂直于所述待测物表面。

6.如权利要求2或5所述的检测设备，其特征在于，所述光路组件(10)通过光纤与所述光源连接；

所述光路组件的光轴垂直所述待测物表面；所述光路组件包括：分束器和物镜；所述分束器，用于使光源发出的光透过至所述物镜，所述物镜还用于收集由待测物表面返回的信号光，并传送至所述分束器，所述分束器还用于使所述物镜收集的所述信号光反射至所述探测部件(20)。

7.如权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述光路组件还包括：与光源连接的准直组件，用于对光源发出的光进行准直；所述分束器接收经所述准直组件准直的光；位于所述光源和物镜之间光路上的滤波器组件，所述滤波组件包括一个或多个光阑。

8.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述光路组件(10)通过光纤与所述光源连接；

所述光路组件(10)包括：分束器(13)和物镜(14)；所述光路组件(10)位于光源和所述分束器(13)之间的光轴平行于所述待测物表面；所述分束器，用于使光源发出的光反射至所述物镜(14)，所述物镜(14)还用于收集由待测物表面返回的信号光，并传送至所述分束器(13)，部分探测部件(20)中的为第一探测部件(20’)，部分为探测部件(20)第二探测部件(20”)，所述第二探测部件(20”)的光轴垂直于所述待测物表面，其中所述第一探测部件(20’)还包括反射件，所述分束器(13)还用于使所述物镜收集的所述信号光透射至所述第二探测部件(20”)，或者还用于使所述物镜收集的所述信号光透射至所述反射件，所述反射件将所述分束器传导的信号光反射使信号光的传播方向旋转90°后到达所述第一探测部件(20’)。

9.如权利要求8所述的检测设备，其特征在于，所述第一探测部件的视场区与所述第二探测部件的视场区间隔设置。