[发明专利]一种制备TaC的方法

权利要求书

1.一种制备TaC的方法，其特征在于所述方法包括以下步骤：

(1)石墨片预处理：将石墨片打磨、抛光，在有机溶剂中超声清洗，用去离子水清洗，干燥，得到经过预处理的石墨片；

(2)钽丝碳化：在热丝化学气相沉积设备中安装钽丝距样品表面5 mm，碳化气源为纯氢气和丙酮，所述丙酮以氢气鼓泡的形式进入反应室中；所述纯氢气的流量为200 sccm，所述丙酮的流量为80 sccm；7 V碳化8 min，12 V 碳化7 min，15 V碳化3min，控制碳化压力为5.7 kPa，碳化结束后，停止通入丙酮，在氢气气氛中迅速降低功率至0，完成钽丝碳化过程；

(3)石墨片处理：将步骤（1）所述经过预处理的石墨片作为衬底放入步骤（2）中所述热丝化学气相沉积设备中，调整氢气流量为10～250 sccm，功率为2000-2400 W，控制气压3.5～5 kPa，沉积40 min～8 h后，得到所述TaC。

2.如权利要求1所述的制备TaC的方法，其特征在于：步骤（1）中所述石墨片尺寸为10×10×2 mm，纯度为99.9%的多晶石墨片。

3.如权利要求1所述的制备TaC的方法，其特征在于：步骤（1）为将石墨片先后用2000目和4000目砂纸打磨、用抛光绒布抛光，在有机溶剂中超声清洗，用去离子水清洗，氮气枪吹干，得到经过预处理的石墨片。

4.如权利要求1所述的制备TaC的方法，其特征在于：步骤（1）中所述有机溶剂为乙醇或者丙酮，所述超声的条件为100W-200W。

5.如权利要求1所述的制备TaC的方法，其特征在于：步骤（3）中所述氢气流量为200sccm。

6.如权利要求1所述的制备TaC的方法，其特征在于：步骤（3）中所述气压控制为3.5kPa。

7.如权利要求1所述的制备TaC的方法，其特征在于：步骤（3）中所述沉积的时间为1h。