[发明专利]高速排片机

权利要求书

1.一种高速排片机，其特征在于，包括有机箱(102)，所述机箱(102)内固定有机台(1)，所述机台(1)上设有WAFER载台机构(2)、第一视觉模组(3)、第一取放模组(4)、第二视觉模组(5)、第二取放模组(6)、第三视觉模组(7)、定位模组(8)和载台模组(9)，所述WAFER载台机构(2)、所述定位模组(8)和所述载台模组(9)沿横向依次设置，其中：

所述WAFER载台机构(2)用于装夹载有多个片状半导体元件的薄膜；

所述第一视觉模组(3)设于所述WAFER载台机构(2)上方，所述第一视觉模组(3)用于获取所述WAFER载台机构(2)上的片状半导体元件位置；

所述第一取放模组(4)用于从所述WAFER载台机构(2)上拾取片状半导体元件并放置于所述定位模组(8)上；

所述第二视觉模组(5)设于所述定位模组(8)上方，所述第二视觉模组(5)用于获取所述WAFER载台机构(2)上的片状半导体元件位姿；

所述定位模组(8)用于对放置于其上的片状半导体元件位姿进行修正；

所述第三视觉模组(7)设于所述载台模组(9)的上方，所述第三视觉模组(7)用于获取所述载台模组(9)上的排片位置；

所述第二取放模组(6)用于从所述定位模组(8)拾取片状半导体元件并放置于所述载台模组(9)上的排片位置；

所述第一取放模组(4)和所述第二取放模组(6)均是摆动式取放模组；

所述第一取放模组(4)包括有取放支架(40)，所述取放支架(40)上固定有竖直滑轨(41)，所述竖直滑轨(41)上设有竖直滑台(42)且二者滑动连接，所述取放支架(40)上设有用于驱使所述竖直滑台(42)上下滑动的取放升降电机(43)，所述竖直滑台(42)上设有摆臂(44)，所述摆臂(44)的第一端设有用于吸取片状半导体元件的真空吸嘴(45)，所述摆臂(44)的第二端与所述竖直滑台(42)转动配合，所述竖直滑台(42)上设有用于驱使所述摆臂(44)在180°角度内摆动的取放旋转电机(46)，借由所述取放旋转电机(46)和所述取放升降电机(43)的配合驱使所述摆臂(44)运动，进而从所述WAFER载台机构(2)上拾取片状半导体元件并放置于所述定位模组(8)，所述第二取放模组(6)与所述第一取放模组(4)的结构相同；

所述WAFER载台机构(2)包括有丝杆直线模组(20)和平移载台(21)，所述丝杆直线模组(20)安装于所述机台(1)上，所述平移载台(21)安装于所述丝杆直线模组(20)的驱动端，且由所述丝杆直线模组(20)驱使所述平移载台(21)平移，所述平移载台(21)上设有用于装夹薄膜的WAFER治具(22)和用于驱使所述WAFER治具(22)旋转的旋转驱动电机(24)；

所述机台(1)上固定有支撑架(10)，所述第一视觉模组(3)、第一取放模组(4)、第二视觉模组(5)、第二取放模组(6)和所述第三视觉模组(7)均设于所述支撑架(10)上；

所述第一视觉模组(3)包括有调节台底座(30)，所述调节台底座(30)固定于所述支撑架(10)上，所述调节台底座(30)上设有纵向调节滑台(31)且二者滑动配合，所述纵向调节滑台(31)上设有横向调节滑台(32)且二者滑动配合，所述横向调节滑台(32)上固定有立板(33)，所述立板(33)上设有CCD相机模组(34)，所述CCD相机模组(34)的镜头朝下设置，所述第二视觉模组(5)和所述第三视觉模组(7)的结构均与所述第一视觉模组(3)相同；

所述调节台底座(30)上设有用于驱使所述纵向调节滑台(31)纵向运动的纵向旋拧螺杆(35)，所述纵向调节滑台(31)上设有用于驱使所述横向调节滑台(32)横向运动的横向旋拧螺杆(36)；

所述定位模组(8)包括有定位机座(80)，所述定位机座(80)固定于所述机台(1)上，所述定位机座(80)上设有横向定位载台(81)且二者滑动配合，所述定位机座(80)上设有用于驱使所述横向定位载台(81)横向运动的横向定位电机(82)，所述横向定位载台(81)上设有纵向定位载台(83)且二者滑动配合，所述横向定位载台(81)上设有用于驱使所述纵向定位载台(83)纵向运动的纵向定位电机(84)，所述纵向定位载台(83)上设有精密旋转电机(85)，所述精密旋转电机(85)的顶部驱动端设有真空吸附治具(86)；

所述WAFER载台机构(2)的下方设有顶针装置(25)，所述顶针装置(25)包括有可横向、纵向移动的交叉滑座(250)，所述交叉滑座(250)上设有升降顶针(251)以及用于驱使所述升降顶针(251)上升或者下降的顶针升降驱动机构(252)；

所述载台模组(9)包括有放料载台(90)以及用于驱使所述放料载台(90)平移的载台平移机构(91)。