[发明专利]曝光对准的补偿方法及补偿系统

权利要求书

1.一种曝光对准的补偿方法，其特征在于，包括：

获取对准图形的原始数据，所述原始数据包括第一正弦波及第二正弦波，所述第一正弦波与所述第二正弦波具有唯一的第一重合点，所述第一重合点对应所述原始数据中所述对准图形的波形中心；

对所述原始数据进行求导处理，以得到求导数据；

在所述曝光对准存在偏差时，基于所述原始数据及所述求导数据得到补偿值；

基于所述补偿值对曝光对准进行补偿。

2.根据权利要求1所述的曝光对准的补偿方法，其特征在于，所述对准图形各点的所述原始数据及各点的所述求导数据均为矢量。

3.根据权利要求2所述的曝光对准的补偿方法，其特征在于，所述基于所述原始数据及所述求导数据得到补偿值包括：

将所述原始数据拆分为X分量及Y分量，以得到第一数据；

将所述求导数据拆分为X方向的分量及Y方向的分量，以得到第二数据；

基于所述第一数据及所述第二数据得到所述补偿值。

4.根据权利要求3所述的曝光对准的补偿方法，其特征在于，

所述对所述原始数据进行求导处理，以得到求导数据包括：

对所述原始数据进行一阶求导，得到一阶求导数据作为所述求导数据；

所述第一数据包括：所述原始数据在X方向的平移量TRX、所述原始数据在Y方向的平移量TRY、所述原始数据的旋转量GRX、所述原始数据的正交量NOGR、所述原始数据在X方向的放大量GMX、所述原始数据在Y方向的放大量GMY、所述原始数据在以晶圆的中心为原点的坐标系中X方向的坐标量CFX及所述原始数据在以晶圆的中心为原点的坐标系中Y方向的坐标量CFY；

所述第二数据包括：所述一阶求导数据在X方向的平移量TRX’、所述一阶求导数据在Y方向的平移量TRY’、所述一阶求导数据的旋转量GRX’、所述一阶求导数据的正交量NOGR’、所述一阶求导数据在X方向的放大量GMX’、所述一阶求导数据在Y方向的放大量GMY’、所述一阶求导数据在以晶圆的中心为原点的坐标系中X方向的坐标量CFX’及所述一阶求导数据在以晶圆的中心为原点的坐标系中Y方向的坐标量CFY’；

所述基于所述第一数据及所述第二数据得到所述补偿值包括：

基于如下公式分别得到所述原始数据在X方向的偏移量Shift X、所述原始数据在Y方向的偏移量Shift Y、所述一阶求导数据在X方向的偏移量Shift X’及所述一阶求导数据在Y方向的偏移量Shift Y’：

Shift_X＝(TRX)+(-GRX*CFY)+(-NOGR*CFY)+(GMX*CFX)；

Shift_Y＝(TRY)+(GRX*CFX)+(GMY*CFY)；

Shift_X’＝(TRX’)+(-GRX’*CFY’)+(-NOGR’*CFY’)+(GMX’*CFX’)；

Shift_Y’＝(TRY’)+(GRX’*CFX’)+(GMY’*CFY’)；

基于所述原始数据在X方向的偏移量Shift X及所述一阶求导数据在X方向的偏移量Shift X’得到X方向的总偏移量，基于所述原始数据在Y方向的偏移量Shift Y及所述一阶求导数据在Y方向的偏移量Shift Y’得到Y方向的总偏移量；

基于X方向的总偏移量及Y方向的总偏移量得到所述补偿值。