[发明专利]一种外延膜生长设备及分离方法

权利要求书

1.一种外延膜生长设备，包括从上到下依次放置的上金属夹环、上石英圆盘、金属基板，在上石英圆盘边沿与上金属夹环之间设置上密封装置，在上石英圆盘边沿与金属基板之间设置下密封装置，用于上石英圆盘与上金属夹环或金属基板之间密封，其特征在于：还包括分离销装置，分离销装置设置在上金属夹环上，用于将上金属夹环整体与上石英圆盘整体分离。

2.根据权利要求1所述外延膜生长设备，其特征在于：分离销装置包括带有螺纹的连接件，所述连接件表面设置有螺纹，在上金属夹环上设置内壁带有螺纹的贯穿孔，贯穿孔内的螺纹与连接件上的螺纹匹配，贯穿孔的位置位于上石英圆盘的外侧，连接件的顶端穿过贯穿孔抵接到金属基板的上表面，用于在连接件转动时，带动上金属夹环上下移动。

3.根据权利要求2所述外延膜生长设备，其特征在于：在上金属夹环上均匀设置至少两个贯穿孔，在各贯穿孔处分别设置分离销装置。

4.根据权利要求3所述外延膜生长设备，其特征在于：在上金属夹环的同一直径的两端，分别设置一个贯穿孔，在各贯穿孔中设置分离销装置。

5.根据权利要求4所述外延膜生长设备，其特征在于：在上金属夹环相互垂直的两个直径，在每个直径的两端，分别设置一个贯穿孔，在各贯穿孔中设置分离销装置。

6.根据权利要求2所述外延膜生长设备，其特征在于：在连接件顶端部位表面或连接件表面上设置韧性外衣，用于防止连接件磨损金属基板表面。

7.根据权利要求6所述外延膜生长设备，其特征在于：所述韧性外衣的材料为聚四氟乙烯，以涂覆方式设置在连接件顶端部位表面或连接件表面。

8.根据权利要求2所述外延膜生长设备，其特征在于：连接件采用平头螺丝。

9.一种外延膜生长设备的分离方法，其特征在于：先将位于上金属夹环同一直径上的第一连接件、第二连接件，分别沿同一方向转动相同角度；再选择与前一直径垂直的另一直径上的第三连接件及第四连接件，分别沿同一方向转动相同角度，重复转动各连接件，直至将上金属夹环整体与上石英圆盘整体分离。