[发明专利]一种外延膜生长设备及分离方法

说明书

本发明公开了一种外延膜生长设备及分离方法，在外延膜生长设备的金属夹环与金属基板之间，设置分离销装置，分离销包括至少两个带有螺丝的连接件，连接件贯穿金属夹环，连接件的顶端抵接在金属基板表面，利用分离销的反向力，分离金属夹环与石英件，在金属夹环与石英件分离后，移动金属夹环，实现金属夹环与石英件的安全分离，减少损坏石英件的几率。

技术领域

本发明涉及芯片制造技术领域，尤其是涉及一种外延膜生长设备及分离方法。

背景技术

目前，芯片制造技术飞速发展，其中，外延生长技术发展于50年代末60年代初，为了制造高频大功率器件，需要减小集电极串联电阻，又要求材料能耐高压和大电流，因此需要在低阻值衬底上生长一层薄的高阻外延层，这时外延设备便应运而生。在对外延机台进行保养或者维修的时候，难免会碰到要打开三十多公斤的金属环或者金属盘，而这些金属重物通过上密封圈与石英件连在一起的，石英件再通过下密封圈与金属基板连接，金属环或金属盘与金属基板之间的间距小于1mm，在金属环或金属盘上设置有8个螺丝，用于连接金属环与金属基板，或金属盘与金属基板。

在松开8个螺丝后，如果手动开启金属环或金属盘，力量控制不好，会碰到下面的石英圆盘，造成石英件损坏。

因此，设计一种能够相对轻松地分离金属重物与石英件的外延膜生长设备，是目前亟待解决的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种外延膜生长设备及分离方法，在外延膜生长设备的金属夹环与金属基板之间，设置分离销装置，分离销包括至少两个带有螺丝的连接件，连接件贯穿金属夹环，连接件的顶端抵接在金属基板表面，利用分离销的反向力，分离金属夹环与石英件，在金属夹环与石英件分离后，移动金属夹环，实现金属夹环与石英件的安全分离，减少损坏石英件的几率。

第一方面，本发明的上述发明目的通过以下技术方案得以实现：

一种外延膜生长设备，包括从上到下依次放置的金属夹环、上石英圆盘、金属基板，在上石英圆盘边沿的上表面与下表面，分别设置密封装置，用于上石英圆盘与上金属夹环或金属基板之间密封，还包括分离销装置，分离销装置设置在上金属夹环上，用于将上金属夹环整体与上石英圆盘整体分离。

本发明进一步设置为：分离销装置包括带有螺纹的连接件，所述连接件上设置有螺纹，在上金属夹环上设置内壁带有螺纹的贯穿孔，贯穿孔内的螺纹与连接件上的螺纹匹配，贯穿孔的位置位于上石英圆盘的外侧，连接件的顶端穿过贯穿孔抵接到金属基板的上表面，用于在连接件转动时，带动金属夹环上下移动。

本发明进一步设置为：在上金属夹环上均匀设置至少两个贯穿孔，在各贯穿孔处分别设置分离销装置，在各贯穿孔中设置分离销装置。

本发明进一步设置为：在上金属夹环的同一直径的两端，分别设置一个贯穿孔，在各贯穿孔中设置分离销装置。

本发明进一步设置为：在上金属夹环的相互垂直的两个直径，在每个直径的两端，分别设置一个贯穿孔，在各贯穿孔中设置分离销装置。

本发明进一步设置为：在连接件顶端表面或连接件全部表面上设置韧性外衣，用于防止连接件磨损金属基板表面。

本发明进一步设置为：所述韧性外衣材料为聚四氟乙烯，以涂覆方式设置在连接件顶端部位表面或连接件全部表面。

本发明进一步设置为：连接件采用平头螺丝。

第二方面，本发明的上述发明目的通过以下技术方案得以实现：

一种外延膜生长设备的分离方法，先将位于金属夹环同一直径上的第一连接件、第二连接件，分别沿同一方向转动相同角度；再选择与前一直径垂直的另一直径上的第三连接件及第四连接件，分别沿同一方向转动相同角度，重复转动各连接件，直至将金属夹环整体与上石英圆盘整体分离。

与现有技术相比，本申请的有益技术效果为：