[发明专利]一种电子探针薄片样品台及其使用方法有效
申请号: | 202110364810.5 | 申请日: | 2021-04-06 |
公开(公告)号: | CN113075244B | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
发明(设计)人: | 刘艳荣;刘民武;樊五杰 | 申请(专利权)人: | 长安大学 |
主分类号: | G01N23/2204 | 分类号: | G01N23/2204;G01N23/225 |
代理公司: | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人: | 卫苏晶 |
地址: | 710064 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电子探针 薄片 样品 及其 使用方法 | ||
1.一种电子探针薄片样品台,其特征在于:包括滑轨座(1)、设置在滑轨座(1)上的竖向板(2)、设置在竖向板(2)上的底座(3)和设置在底座(3)上且与滑轨座(1)顶部平行的样品台(5);
所述样品台(5)的底部设置有与底座(3)配合的连接部件(6)和能沿样品台(5)纵横方向滑移的滑移部件,所述连接部件(6)包括设置在样品台(5)的底部且伸入底座(3)内的套筒(6-3)和穿设在套筒(6-3)中的连接轴(4),所述连接轴(4)伸出套筒(6-3)的两端穿过底座(3),所述底座(3)的顶部和套筒(6-3)的顶部相齐平,所述样品台(5)能绕连接轴(4)旋转,所述套筒(6-3)上设置有两个对称布设的限位块,所述底座(3)中设置有与所述限位块配合的限位槽(3-3),所述连接轴(4)能带动套筒(6-3)靠近或者远离限位槽(3-3);
所述滑移部件包括能沿样品台(5)横向滑移的纵板(7)和两个穿设在纵板(7)内且能沿样品台(5)纵向滑移的横板(8);
所述底座(3)包括矩形座体(3-1)和两个对称设置在矩形座体(3-1)上的座体耳(3-2),两个座体耳(3-2)和矩形座体(3-1)围成供套筒(6-3)安装的容纳腔(3-6),所述矩形座体(3-1)和两个座体耳(3-2)围成U形结构,所述限位槽(3-3)位于矩形座体(3-1)内,所述限位槽(3-3)的长度小于两个座体耳(3-2)之间的间距,所述连接轴(4)伸出套筒(6-3)的两端均穿过座体耳(3-2);所述样品台(5)上设置有第一开口部(5-1)和第二开口部(5-2);
两个所述座体耳(3-2)分别为左座体耳和右座体耳,所述左座体耳内设置有左腰形通孔(3-4),所述右座体耳内设置有右腰形通孔(3-5),所述连接轴(4)穿过套筒(6-3)的两端分别穿过左腰形通孔(3-4)和右腰形通孔(3-5),且所述连接轴(4)能沿左腰形通孔(3-4)和右腰形通孔(3-5)滑移,以使连接轴(4)带动套筒(6-3)靠近或者远离限位槽(3-3)移动;
所述样品台(5)的底部设置有左连接耳(6-1)与右连接耳(6-2),所述套筒(6-3)安装在左连接耳(6-1)与右连接耳(6-2)之间,所述左连接耳(6-1)和右连接耳(6-2)均位于容纳腔(3-6)内,所述左连接耳(6-1)的外侧壁和一个座体耳(3-2)的内侧壁相贴合,所述右连接耳(6-2)的外侧壁和另一个座体耳(3-2)的内侧壁相贴合;
所述连接轴(4)伸出套筒(6-3)的一端依次穿过所述左连接耳(6-1)和底座(3)中的左腰形通孔(3-4),所述连接轴(4)伸出套筒(6-3)的另一端依次穿过所述右连接耳(6-2)和底座(3)中的右腰形通孔(3-5);
两个所述限位块分别为第一限位块(6-4)和第二限位块(6-5),第一限位块(6-4)和第二限位块(6-5)之间的夹角为180°,第一限位块(6-4)和第二限位块(6-5)的长度小于套筒(6-3)的长度,所述第一限位块(6-4)或者第二限位块(6-5)均能嵌入限位槽(3-3)中,所述限位槽(3-3)的槽深和第一限位块(6-4)与第二限位块(6-5)的宽度相适应。
2.按照权利要求1所述的一种电子探针薄片样品台,其特征在于:所述样品台(5)为矩形台面,所述样品台(5)上设置有通孔,所述纵板(7)、横板(8)将通孔划分为多个安装区(9),所述样品台(5)底面靠近所述通孔的边缘区域设置有边缘台阶状凹槽(5-3);
所述样品台(5)底面上设置有供纵板(7)一端伸入且滑移的第一滑移槽(7-1)和供纵板(7)另一端伸入且滑移的第二滑移槽(7-2),以及供两个横板(8)的一端伸入且滑移的第三滑槽(8-1)和供两个横板(8)的另一端伸入且滑移的第四滑槽(8-2),所述第三滑槽(8-1)和第四滑槽(8-2)对称布设,所述第一滑移槽(7-1)、第三滑槽(8-1)、第二滑移槽(7-2)和第四滑槽(8-2)沿所述通孔顺时针布设。
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