[发明专利]一种硅片用舟多向传输机

权利要求书

1.一种硅片用舟多向传输机，其特征在于：包括多个输送模块，所述输送模块包括机架，所述机架包括多层框架结构，所述框架结构中设有横纵向传输转换机构、用于将横纵向传输转换机构上升或下降的顶升机构；

所述横纵向传输转换机构包括横向传输单元、纵向传输单元以及用于驱动横向传输单元上升或下降的顶升组件；

所述多个输送模块在横向通过横向传输单元衔接，舟通过顶升组件在横向传输单元、纵向传输单元之间改变横纵向传输方向，通过顶升机构使得横纵向传输转换机构顶升，从而切换舟在多层框架结构的位置。

2.如权利要求1所述的一种硅片用舟多向传输机，其特征在于：所述多个输送模块至少包括相邻设置的第一输送模块与第二输送模块，所述多层框架结构自下而上包括底层、中层、上层，所述第一输送模块中层至少包括一个横纵向传输转换机构，所述第二输送模块上层至少包括一个横纵向传输转换机构。

3.如权利要求2所述的一种硅片用舟多向传输机，其特征在于：所述上层上方设有纵向传输通道，所述第一输送模块底层至少包括一个用于将横纵向传输转换机构在中层到高层之间升降的顶升机构，所述第二输送模块中层至少包括一个用于将横纵向传输转换机构在高层与纵向传输通道之间升降的顶升机构。

4.如权利要求2或3所述的一种硅片用舟多向传输机，其特征在于：所述中层中的横向传输单元的横向一端、上层中的横向传输单元的横向一端均设有用于与外部自动化设备对接的第一对接口，所述中层中的横向传输单元的横向一端、上层中的横向传输单元的横向另一端均设有用于与外部工艺机对接的第二对接口。

5.如权利要求1所述的一种硅片用舟多向传输机，其特征在于：在相邻的两个输送模块之间设有中间连接框架，所述中间连接框架上设有用于相邻的两个输送模块纵向衔接传输的衔接传输通道。

6.如权利要求1所述的一种硅片用舟多向传输机，其特征在于：所述横纵向传输转换机构包括承接板，所述横向传输单元和纵向传输单元设于承接板上；所述横向传输单元包括：横向输送组件、用于驱动横向输送组件的第一驱动组件；所述纵向传输单元包括：纵向输送组件以及用于驱动纵向输送组件的第二驱动组件。

7.如权利要求6所述的一种硅片用舟多向传输机，其特征在于：所述顶升机构包括上底板、下底板、连接板、伺服电机、丝杆、直线导向机构；所述连接板设于下底板下方，所述伺服电机、丝杆设于连接板上，所述直线导向机构包括第一直线导柱、第二直线导柱、第一直线导套、第二直线导套；所述第一直线导套贯穿固定于上底板，所述第二直线导套贯穿固定于下底板；所述第一直线导柱一端固定于下底板，另一端穿过第一直线导套与承接板连接；所述第二直线导柱一端固定于上底板，另一端穿过第二直线导套与连接板固定。

8.如权利要求6所述的一种硅片用舟多向传输机，其特征在于：所述第一驱动组件包括：感应电机、驱动轴，轴承座，所述驱动轴连接于轴承座且驱动轴两端设有主动轮，所述驱动轴上套设有驱动轮，所述感应电机的输出端与驱动轮通过第一同步带连接。

9.根据权利要求6所述的一种舟顶升传输机构，其特征在于，所述横向输送组件包括：横向安装架、设于横向安装架上的从动轮、第二同步带，所述第二同步带安装于主动轮与从动轮之间，所述纵向输送组件包括：纵向安装架、设于纵向安装架上的同步轮组、第三同步带，所述第二驱动组件包括伺服电机，所述第二驱动组件的输出端与同步轮组通过第三同步带连接。

10.根据权利要求9所述的一种舟顶升传输机构，其特征在于，所述顶升组件包括：顶升板、顶升气缸、连接件，所述顶升板连接于横向安装架，所述顶升气缸的输出端连接顶升板，所述连接件连接于顶升气缸与纵向安装架之间。