[发明专利]一种大幅降低大尺寸砂浆线成本的砂浆循环工艺在审
申请号: | 202110373690.5 | 申请日: | 2021-04-07 |
公开(公告)号: | CN113183339A | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 周骁航;黄春峰;吴伟 | 申请(专利权)人: | 中环领先半导体材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D5/04 |
代理公司: | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人: | 段宇 |
地址: | 214200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 大幅 降低 尺寸 砂浆 成本 循环 工艺 | ||
本发明公开了一种大幅降低大尺寸砂浆线成本的砂浆循环工艺,其工艺方法包括以下步骤:S1、首先启动AP17#隔膜泵从废砂浆缓冲罐内抽取一定量的废砂浆至T1#废砂浆调和罐,开启AP11#离心泵抽取S2#水箱内的压滤液,将调和后废砂浆通过AP3#隔膜泵抽取至T2#一次调和罐内,开启LXJ1离心机,开启AP12离心泵,从S2#水箱内抽取切割液至T3罐内,打开AP1蠕动泵进,打开YM7蒸汽调节阀,开始进行一次离心作业,分离后的碳化硅流转至T3#一级分离配浆罐,液通过管道落差自流到S1#水箱,通过离心机下方取样口取样检测砂浆粒径,T3#罐内砂浆调配至上限位后,开启AP4#隔膜泵将砂浆运送至T4#二次调和罐,直至T3罐到达下限位停止进料,开启T4罐体上方AP5隔膜泵,设定自循环。
技术领域
本发明涉及砂浆循环系统的控制技术领域,具体为一种大幅降低大尺寸砂浆线成本的砂浆循环工艺。
背景技术
目前,公知的砂浆线切割是一种使用碳化硅颗粒配合一定比例的切割液,然后配置成的新砂浆通过钢线携带进行往复切割的一种切割方式,切割过程中碳化硅颗粒和硅棒磨削,碳化硅颗粒棱角被磨平,颗粒变小或者破碎,并且一部分硅粉也携带进入砂浆中。
随着切割的不断进行,碳化硅粒径分布变小,砂浆内硅粉含量升高,磨削效应减弱,切割后的硅片质量逐步变差,并且,随着切割的不断进行,砂浆吸收空气中的水分,导致砂浆含水率不断提高,砂浆内形成硅溶胶,使得切割后硅片质量变差。
发明内容
本发明的目的在于提供一种大幅降低大尺寸砂浆线成本的砂浆循环工艺,以解决上述背景技术中提出的随着切割的不断进行,碳化硅粒径分布变小,砂浆内硅粉含量升高,磨削效应减弱,切割后的硅片质量逐步变差,并且,随着切割的不断进行,砂浆吸收空气中的水分,导致砂浆含水率不断提高,砂浆内形成硅溶胶,使得切割后硅片质量变差的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种大幅降低大尺寸砂浆线成本的砂浆循环工艺,其工艺方法包括以下步骤:
S1、首先启动AP17#隔膜泵从废砂浆缓冲罐内抽取一定量的废砂浆至T1#废砂浆调和罐,开启AP11#离心泵抽取S2#水箱内的压滤液,将调和后废砂浆通过AP3#隔膜泵抽取至T2#一次调和罐内,开启LXJ1离心机,开启AP12离心泵,从S2#水箱内抽取切割液至T3罐内,打开AP1蠕动泵进,打开YM7蒸汽调节阀,开始进行一次离心作业,分离后的碳化硅流转至T3#一级分离配浆罐,液通过管道落差自流到S1#水箱,通过离心机下方取样口取样检测砂浆粒径,T3#罐内砂浆调配至上限位后,开启AP4#隔膜泵将砂浆运送至T4#二次调和罐,直至T3罐到达下限位停止进料,开启T4罐体上方AP5隔膜泵,设定自循环,并检测砂浆密度,可以通过S2压滤液自动进行调节,调和完成后,启动AP5隔膜泵,将T4缸罐的砂浆抽取至T5罐。
S2、然后开启LXJ2离心机,开启AP15离心泵,从S4水箱内抽取成品蒸馏切割液至T6砂浆罐,打开AP2蠕动泵进,打开YM8蒸汽调节阀,开始进行二次离心作业,分离后的碳化硅流转至T6#二级分离配浆罐,液通过管道落差自流到S1#水箱,通过离心机下方取样口取样检测砂浆粒径,T6二次分离罐内砂浆调配至一定量后,开启AP6隔膜泵,将砂浆抽取至T7调配罐内,T7#罐内累积至一定量砂浆后,启动AP7隔膜泵,开启自循环,检测砂浆密度,可以通过S4成品蒸馏液自动进行调节。
S3、最后密度调和完成后的砂浆通过AP7蠕动泵,抽取至T8或T13砂浆罐内,此时砂浆为半成品回收砂浆,使用专用取样工具取样检测各项参数并记录留底,计算需要添加的新砂浆量,并抽取固定数值的新砂浆至对应的T8/T13罐内搅拌,使新砂浆和在线砂浆充分混合,取样检测:根据工艺要求,使用专用取样工具取样检测各项参数并记录留底,根据现场实际启用的砂浆罐信息(T8-T9、T13-T14),开启AP21或AP23隔膜泵,将T8/T13#混合成品缸内的砂浆抽取至对应的T9/T14#成品。
优选的,所述压滤液调节密度加入量7.5%±1%,所述LXJ1离心机设定参数主机频率为15-19Hz辅机频率为4-6Hz。
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