[发明专利]平面度测试仪

权利要求书

1.一种平面度测试仪，其特征在于，包括：

箱体(1)，所述箱体(1)的顶端(11)安装有治具(2)，所述治具(2)用于放置测试物体，所述箱体(1)的顶端(11)端面开设有与所述治具(2)位置相对的测试口(12)；

运动机构(3)，设置在所述箱体(1)内，所述运动机构(3)上安装有视觉定位单元(4)和检测单元(5)，所述运动机构(3)用于调整视觉定位单元(4)和检测单元(5)的位置；

所述检测单元(5)用于通过所述测试口(12)获取治具(2)上的测试物体的表面平面度；

所述视觉定位单元(4)用于通过所述测试口(12)获取治具(2)上的测试物体的不同检测区域的图像。

2.根据权利要求1所述的平面度测试仪，其特征在于，所述运动机构(3)为两轴直线运动机构，包括X轴直线模组(31)和Y轴直线模组(32)，所述X轴直线模组(31)和Y轴直线模组(32)的运动方向相互垂直。

3.根据权利要求1所述的平面度测试仪，其特征在于，所述检测单元(5)为激光位移传感器，所述检测单元(5)通过向测试物体的表面发射激光束和接收经所述被测表面反射的反射光来获取测试物体的表面平面度。

4.根据权利要求1所述的平面度测试仪，其特征在于，所述视觉定位单元(4)包括：

底板(41)，设置在所述运动机构(3)上；

所述底板(41)的端面上设置有成像装置(42)和光线反射镜(44)，所述光线反射镜(44)通过底板(41)上的夹板(43)固定，所述夹板(43)的顶端端面上设置有光源(45)，所述光源(45)用于对检测区域进行补光，所述成像装置(42)通过获取所述光线反射镜(44)反射的光线成像。

5.根据权利要求4所述的平面度测试仪，其特征在于，所述夹板(43)包括两个相对设置的侧板(431)和与两个侧板(431)固定的横板(432)，两个侧板(431)与所述底板(41)固定，所述横板(432)上设置有透光孔(433)。

6.根据权利要求5所述的平面度测试仪，其特征在于，所述光线反射镜(44)为直角棱镜，所述直角棱镜的倾斜面与所述成像装置(42)和所述透光孔(433)相对，通过透光孔(433)的光线经过直角棱镜的反射后进入成像装置(42)内。

7.根据权利要求5所述的平面度测试仪，其特征在于，所述光线反射镜(44)与夹板(43)的固定方式为：两个侧板(431)的相对面上对称开设有凹槽(434)，所述光线反射镜(44)卡合在所述凹槽(434)内。

8.根据权利要求4所述的平面度测试仪，其特征在于，所述成像装置(42)为摄像头、CCD或相机。

9.根据权利要求4所述的平面度测试仪，其特征在于，所述检测单元(5)固定设置在所述夹板(43)的侧板(431)或所述夹板的横板(432)上。

10.根据权利要求1所述的平面度测试仪，其特征在于，所述箱体(1)的底端(13)对称设置有凸条(14)，所述凸条(14)上设置有箱体定位孔(141)。