[发明专利]平面度测试仪

说明书

本发明实施例提供一种平面度测试仪，包括：箱体，所述箱体的顶端安装有治具，所述治具用于放置测试物体，所述箱体的顶端端面开设有与所述治具位置相对的测试口；运动机构，运动机构，设置在所述箱体内，所述运动机构上安装有视觉定位单元和检测单元，所述运动机构用于调整视觉定位单元和检测单元的位置；所述检测单元用于通过所述测试口获取治具上的测试物体的表面平面度；所述视觉定位单元用于通过所述测试口获取治具上的测试物体的不同检测区域的图像。本发明具有操作方便快捷且测试效率和测试精度高，能够实现不同模组芯片的平面度测量的优点。

技术领域

本发明涉及平面度检测设备技术领域，具体地涉及一种平面度测试仪。

背景技术

随着生产技术的发展，尖端科技对小型电子原件(如模组芯片)生产的技术要求越来越高，其中，对模组芯片的平面度要求也更加的严格，对于制造出的模组芯片，其公差控制要求在0.12mm范围内，超出该范围的即判定为不良品。模组芯片生产过程中的平面度测量，传统的测量工具是用塞规进行检测或者用三坐标测量仪进行测量，整个测量周期较长，测试效率较低，精度一致性差，同时测量结果一般是离线数据，不能满足现代化生产的需求，工作量大，降低了检测效率，并且，不同的模组芯片检测点位不同，在检测不同模组芯片时，需要对检测点位进行调整，但现有技术中，选取检测点位的方式较为复杂，亟待改进。

发明内容

本发明实施例的目的是提供一种平面度测试仪，该平面度测试仪具有操作方便快捷且测试效率和测试精度高，能够实现不同模组芯片的平面的测量的优点。

为了实现上述目的，本发明提供一种平面度测试仪，包括：

箱体，所述箱体的顶端安装有治具，所述治具用于放置测试物体，所述箱体的顶端端面开设有与所述治具位置相对的测试口；

运动机构，设置在所述箱体内，所述运动机构上安装有视觉定位单元和检测单元，所述运动机构用于调整视觉定位单元和检测单元的位置；

所述检测单元用于通过所述测试口获取治具上的测试物体的表面平面度；

所述视觉定位单元用于通过所述测试口获取治具上的测试物体的不同检测区域的图像。

可选的，所述运动机构为两轴直线运动机构，包括X轴直线模组和Y轴直线模组，所述X轴直线模组和Y轴直线模组的运动方向相互垂直。

可选的，所述检测单元为激光位移传感器，所述检测单元通过向测试物体的表面发射激光束和接收经所述被测表面反射的反射光来获取测试物体的表面平面度。

可选的，所述视觉定位单元包括：

底板，设置在所述运动机构上，

所述底板的端面上设置有成像装置和光线反射镜，所述光线反射镜通过底板上的夹板固定，所述夹板的顶端端面上设置有光源，所述光源用于对检测区域进行补光，所述成像装置通过获取所述光线反射镜反射的检测区域的光线成像。

可选的，所述夹板包括两个相对设置的侧板和与两个侧板固定的横板，两个侧板与所述底板固定，所述横板上设置有透光孔。

可选的，所述光线反射镜为直角棱镜，所述直角棱镜的倾斜面与所述成像装置成像装置和所述透光孔相对，通过透光孔的光线经过直角棱镜的反射后进入成像装置内。

可选的，所述光线反射镜与夹板的固定方式为：所述夹板的侧板的相对面上对称设置有凹槽，所述光线反射镜卡合在所述凹槽内。

可选的，所述成像装置为摄像头、CCD或相机。

可选的，所述检测单元固定设置在所述夹板的侧板或所述夹板的横板上。

可选的，所述箱体的底端对称设置有凸条，所述凸条上设置有箱体定位孔。