[发明专利]一种压电惯性驱动模块有效
申请号: | 202110375223.6 | 申请日: | 2021-04-08 |
公开(公告)号: | CN112865595B | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 朱凯;王振华;孙源;陈椿元;刘如德 | 申请(专利权)人: | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
主分类号: | H02N2/02 | 分类号: | H02N2/02 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 200135 上海市浦东新区自*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 压电 惯性 驱动 模块 | ||
本发明涉及驱动技术领域,公开一种压电惯性驱动模块,压电陶瓷叠堆、第一惯性质量块组均位于压电惯性驱动模块的中心轴上,第一摩擦头的设置位置、第二摩擦头的设置位置关于压电惯性驱动模块的中心轴对称,实现整个压电惯性驱动模块为对称结构,保证压电惯性驱动模块沿正反两个方向具有相同的运动状态,保证压电惯性驱动模块在正、反方向运动的过程中具有相同的驱动力、速度和振动,便于控制输出位移的速度和精度;能够降低压电惯性驱动模块的精度控制的难度,提高压电惯性驱动模块的负载能力;简化了压电惯性驱动模块的内部结构和驱动方式。
技术领域
本发明涉及驱动技术领域,尤其涉及一种压电惯性驱动模块。
背景技术
随着精密制造、半导体、医疗设备等行业的发展,高精度、高分辨率的精密运动驱动装置的市场需求日益增多,各种新结构、新技术不断涌现。压电惯性电机作为精密运动驱动装置的一种,目前已被广泛认知,诸如美国专利US10250164B2所述惯性电机,其原理是通过摩擦副之间的“粘滞-滑移”效应和压电陶瓷的驱动而产生位移。
现阶段主流的压电惯性驱动模块,结构具有单向性;当其需要驱动负载分别向正反两个方向运动时,需通过多组模块共同作用并控制驱动波形相位差的方法才能实现,其内部结构和驱动方式均相对复杂。
发明内容
为了克服现有技术的缺陷,本发明提供了一种压电惯性驱动模块。
为达此目的,本发明采用以下技术方案:
一种压电惯性驱动模块,包括压电陶瓷叠堆,还包括第一惯性质量块组、第一摩擦头、第二摩擦头;其中:
所述压电陶瓷叠堆、所述第一惯性质量块组均位于所述压电惯性驱动模块的中心轴上;
所述第一摩擦头的设置位置、所述第二摩擦头的设置位置关于所述压电惯性驱动模块的中心轴对称;所述第一摩擦头、所述第二摩擦头分别与所述第一惯性质量块组连接;
所述第一摩擦头、所述第二摩擦头分别与所述压电陶瓷叠堆柔性连接。
作为上述压电惯性驱动模块的一种优选技术方案,所述压电惯性驱动模块还包括第一支撑子模块,所述第一支撑子模块包括第一支撑件、第二支撑件、第三支撑件和第四支撑件;所述第一支撑件、所述第四支撑件为柔性件;
所述第一支撑件的一端、所述第二支撑件、所述第一惯性质量块组、所述第三支撑件和所述第四支撑件的一端依次相连;所述压电陶瓷叠堆的两端分别与所述第一支撑件的另一端和所述第四支撑件的另一端均直接或间接相连;
所述第一摩擦头位于所述第一支撑件、所述第二支撑件的连接处;所述第二摩擦头位于所述第三支撑件、所述第四支撑件的连接处。
作为上述压电惯性驱动模块的一种优选技术方案,所述第一支撑件、所述第四支撑件的设置位置关于所述压电惯性驱动模块的中心轴对称;
所述第二支撑件、所述第三支撑件的设置位置关于所述压电惯性驱动模块的中心轴对称。
作为上述压电惯性驱动模块的一种优选技术方案,所述第二支撑件、所述第一惯性质量块组、所述第三支撑件依次连接形成一个向所述压电陶瓷叠堆内凹的结构。
作为上述压电惯性驱动模块的一种优选技术方案,所述第一支撑件和所述第二支撑件通过第一刚性件连接,所述第一摩擦头设于所述第一刚性件上;
所述第三支撑件和所述第四支撑件通过第二刚性件连接,所述第二摩擦头设于所述第二刚性件上。
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