[发明专利]压电换能器的制备方法

说明书

本发明涉及一种压电换能器的制备方法，包括：在压电晶圆上形成与压电换能器的预设方向平行或垂直的第一标记；在承载晶圆上形成与承载晶圆的切割方向平行或垂直的第二标记，第二标记和第一标记的形状相同；将第一标记和第二标记对齐后键合压电晶圆和承载晶圆，形成工艺晶圆，工艺晶圆具有压电晶圆的第一表面用于形成压电换能器。本申请通过压电晶圆上的第一标记和承载晶圆上的第二标记使得压电换能器的预设方向与承载晶圆的切割方向平行或者垂直，从而达到提高承载晶圆可用晶圆区域利用率的目的。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，特别是涉及一种压电换能器的制备方法。

背景技术

制备压电换能器的压电薄膜在承载晶圆垂直方向上的晶向和平行的平面方向上的晶向是由淀积工艺决定的，并且，在不明显改变淀积工艺的情况下是无法任意控制压电薄膜在承载晶圆垂直方向和与承载晶圆平行的平面方向上的晶向。

但是，将在承载晶圆垂直方向上具有不同晶向的压电晶圆键合到承载晶圆上，然后将压电晶圆减薄至制备压电换能器需要的厚度后，作为制备压电换能器的压电薄膜，可以得到具有不同晶向的压电薄膜，压电换能器在取向上具有一定的灵活性，但是，为了获取具有最佳性能的压电换能器，需要根据需要将压电换能器放置在压电晶圆上的不同方向上，当该方向与承载晶圆的划片切割方向不平行或不垂直时，会导致压电晶圆可用晶圆区域使用效率降低。

发明内容

基于此，有必要针对现有技术中的压电晶圆可用晶圆区域使用效率降低的问题，提供一种新的压电换能器的制备方法。

为了实现上述目的，本发明提供了一种压电换能器的制备方法，包括：

在压电晶圆上形成与压电换能器的预设方向平行或垂直的第一标记；

在承载晶圆上形成与承载晶圆的切割方向平行或垂直的第二标记，第二标记和第一标记的形状相同；

将第一标记和第二标记对齐后键合压电晶圆和承载晶圆，形成工艺晶圆，工艺晶圆具有压电晶圆的第一表面用于形成压电换能器。

在其中一个实施例中，第一标记包括压电晶圆的第一主定位边，第二标记包括承载晶圆的第二主定位边，在压电晶圆上形成与压电换能器的预设方向平行或垂直的第一标记的步骤包括：

沿第一方向研磨或切割压电晶圆，形成第一主定位边，第一方向平行或垂直于预设方向；

在承载晶圆上形成与承载晶圆的切割方向平行或垂直的第二标记的步骤包括：

沿第二方向研磨或切割承载晶圆，形成第二主定位边，第二方向平行或垂直于切割方向。

在其中一个实施例中，预设方向与压电晶圆的晶体轴方向之间具有第一预设角，切割方向与承载晶圆的晶体轴方向之间具有第二预设角。

在其中一个实施例中，第一预设角为沿预设方向逆时针旋转至压电晶圆的晶体轴方向的角度，第二预设角为沿切割方向逆时针旋转至承载晶圆的晶体轴方向的角度。

在其中一个实施例中，第一预设角为沿预设方向顺时针旋转至压电晶圆的晶体轴方向的角度，第二预设角为沿切割方向顺时针旋转至承载晶圆的晶体轴方向的角度。

在其中一个实施例中，第一预设角包括0度、90度，和/或第二预设角包括0度、90度。

在其中一个实施例中，压电晶圆还包括与所述第一主定位边垂直的第一附定位边，承载晶圆还包括与第二主定位边垂直的第二附定位边。

在其中一个实施例中，第一标记包括设于压电晶圆上的第一标记图形，第二标记包括设于承载晶圆上的第二标记图形；在压电晶圆上形成与压电换能器的预设方向平行或垂直的第一标记的步骤包括：

通过光刻、刻蚀工艺在压电晶圆上形成第一标记图形，第一标记图形的方向与预设方向平行或垂直；