[发明专利]一种检测模压成型加工双面镜偏心量的方法有效

专利信息
申请号: 202110378216.1 申请日: 2021-04-08
公开(公告)号: CN113310455B 公开(公告)日: 2023-07-11
发明(设计)人: 阮本帅;李秋怡;洪超;高立恒 申请(专利权)人: 超丰微纳科技(宁波)有限公司
主分类号: G01B21/24 分类号: G01B21/24
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 张天一
地址: 315500 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 检测 模压 成型 加工 双面 偏心 方法
【权利要求书】:

1.一种检测模压成型加工双面镜偏心量的方法,其特征在于:

在上模上与所述上模的成型面共轴线加工第一凸起;在下模上与所述下模的成型面共轴线加工第二凸起;所述第一凸起位于所述上模的镜面成型面的外侧,所述第二凸起位于所述下模的镜面成型面的外侧;所述第一凸起设置有多个,所述第二凸起设置有多个;

共轴线安装所述上模和所述下模,并将所述第一凸起对准所述第二凸起;在第一镜面的外径侧边缘形成第一凹槽,在第二镜面的外径侧边缘形成第二凹槽;

测量所述第一凹槽的侧壁和所述第二凹槽的侧壁之间在径向方向的间距,获得测量间距,根据所述测量间距直接或经过计算获得所述第一凹槽的中心轴和所述第二凹槽的中心轴之间的实际间距,即获得凹槽偏心量,所述凹槽偏心量包括第一凹槽偏心量和第二凹槽偏心量,先利用膜厚测量仪沿工件的一侧向另一侧测量工件的厚度,测量轨迹穿过所述第一凹槽、所述第二凹槽,记录厚度数值;根据数值突变位置的间距确定所述第一凹槽偏心量;再从另一穿过所述第一凹槽、所述第二凹槽的方向测量厚度,获得所述第二凹槽偏心量;根据所述第一凹槽偏心量和所述第二凹槽偏心量计算得到双面镜偏心量;

通过测量所述第一凹槽和所述第二凹槽轴线之间的间距来代替测量所述第一镜面和所述第二镜面轴线之间的间距;

根据两组所述凹槽偏心量计算得到双面镜偏心量。

2.根据权利要求1所述的检测模压成型加工双面镜偏心量的方法,其特征在于:多个所述第一凸起均匀分布在同一环形轨迹上;多个所述第二凸起均匀分布在同一环形轨迹上。

3.根据权利要求2所述的检测模压成型加工双面镜偏心量的方法,其特征在于:所述第一凸起和所述第二凸起的直径、高度以及距离中心轴的间距均相等。

4.根据权利要求3所述的检测模压成型加工双面镜偏心量的方法,其特征在于:所述第一凸起和所述第二凸起均为圆柱形结构,且分别设置有四个。

5.根据权利要求1-4任一项所述的检测模压成型加工双面镜偏心量的方法,其特征在于:两次测量轨迹的方向相互垂直,所述双面镜偏心量 ,其中,为第一凹槽偏心量,为第二凹槽偏心量。

6.根据权利要求5所述的检测模压成型加工双面镜偏心量的方法,其特征在于:以第一次突变到第二次突变间的间距或第三次突变到第四次突变间的间距作为所述第一凹槽偏心量。

7.根据权利要求5所述的检测模压成型加工双面镜偏心量的方法,其特征在于:以第一次突变到第二次突变间的间距或第三次突变到第四次突变间的间距作为所述第二凹槽偏心量。

8.根据权利要求5所述的检测模压成型加工双面镜偏心量的方法,其特征在于:所述膜厚测量仪采用Filmetrics公司F20薄膜厚度测量仪。

9.根据权利要求8所述的检测模压成型加工双面镜偏心量的方法,其特征在于:所述上模为凹模,所述下模为凸模。

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