[发明专利]一种声表面波谐振器和射频滤波器

权利要求书

1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：

衬底；

位于所述衬底上的压电层；

电极层，所述电极层位于所述压电层远离所述衬底的一侧；

所述电极层包括多个叉指式换能器，所述叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至所述第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至所述第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；所述第一电极指和所述第二虚设电极指相对设置，所述第二电极指和所述第一虚设电极指相对设置；

其中，所述第一电极指与所述第一汇流条的夹角、所述第二电极指与所述第二汇流条的夹角、所述第一虚设电极指与所述第一汇流条的夹角和所述第二虚设电极指与所述第二汇流条的夹角相等；所述夹角的取值范围为75°～90°和-75°～-90°。

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一电极指和所述第二电极指均包括主体和两个端头；

所述端头与所述主体连接，所述端头与所述主体至少部分共用；

沿所述第一汇流条的长度方向，所述端头的宽度大于所述主体的宽度。

3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，

沿所述第一汇流条的长度方向，所述端头的宽度为所述主体的宽度的1.2倍～1.8倍。

4.根据权利要求2所述的谐振器，其特征在于，所述端头的在垂直于所述第一汇流条长度方向上的长度为叉指式换能器波长的0.3～0.7倍。

5.根据权利要求2所述的谐振器，其特征在于，所述第一电极指上的两个所述端头之间的距离以及所述第二电极指上的两个所述端头之间的距离均与所述叉指式换能器的孔径相等；

其中，所述第一电极指上的远离所述第一汇流条的端头与所述第二虚设电极指相对设置，所述第二电极指上的远离所述第二汇流条的端头与所述第一虚设电极指相对设置。

6.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述电极层还包括多个反射栅结构；

所述反射栅结构包括第三汇流条、第四汇流条和多条反射栅；

所述第三汇流条与所述第四汇流条平行设置；

所述反射栅的第一端与所述第三汇流条连接，所述反射栅的第二端与所述第四汇流条连接；

沿所述第一汇流条的长度方向上，所述反射栅结构位于所述叉指式换能器的两侧；

所述反射栅与所述第三汇流条的夹角取值范围为75°～90°和-75°～-90°。

7.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，沿所述第一汇流条的长度方向，所述主体的宽度与所述叉指式换能器波长的比值小于0.5。

8.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述压电层的压电材料包括定位边，所述压电材料的定位边垂直于第一汇流条的长度方向和第二汇流条的长度方向，声表面波的传播方向垂直于压电材料的定位边。

9.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，还包括能量陷阱层，所述能量陷阱层位于所述衬底和所述压电层之间；

第一介质层，所述第一介质层位于所述能量陷阱层和所述压电层之间；

第二介质层，所述第二介质层位于所述电极层远离所述压电层的一侧，并覆盖所述电极层。

10.一种射频滤波器，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的声表面波谐振器。