[发明专利]一种声表面波谐振器和射频滤波器

说明书

本发明实施例提供一种声表面波谐振器和射频滤波器，声表面波谐振器包括：衬底；位于衬底上的压电层；电极层，电极层位于压电层远离衬底的一侧；电极层包括多个叉指式换能器，叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；第一电极指和第二虚设电极指相对设置，第二电极指和第一虚设电极指相对设置。本发明实施例提供的声表面波谐振器和射频滤波器，无需更换衬底和压电层，也无需增加额外的结构单元，就能实现带宽选择的灵活性，进一步提高了产品的设计自由度。

技术领域

本发明涉及通信领域，特别是涉及一种声表面波谐振器和射频滤波器。

背景技术

随着通信技术从2G发展至5G，通信频段数目逐步增加(从2G的4个频段上升到5G的50余个频段)。为了提高智能手机对不同通信制式的兼容能力，5G智能手机所需要的滤波器用量将显著上升，推动滤波器市场大规模增长。目前无线通信终端中广泛应用的射频滤波器是声表面波滤波器，负责接收和发射通道的射频信号，将输入的多种射频信号中特定频率的信号输出。同时，随着移动通讯技术的持续发展和射频前端模组化发展，市场对滤波器的需求趋向复杂化，高端化，小型化。

基于单晶压电钽酸锂衬底的声表面波器件已广泛应用于射频滤波器，受限于单晶压电材料的Q值和高频率温度系数，已难满足射频前端芯片的要求。传统调节带宽的方法一般采用选取不同切向的压电材料，或者是在射频滤波器设计中并联电容的方法，来降低特定谐振器的机电耦合系数，达到提升矩形度的目的。

发明内容

本发明实施例提供的声表面波谐振器，无需更换衬底和压电层，也无需增加额外的结构单元，就能实现带宽选择的灵活性，进一步提高了产品的设计自由度。

第一方面，本发明实施例提供一种声表面波谐振器，该声表面波谐振器包括：

衬底；

位于所述衬底上的压电层；

电极层，所述电极层位于所述压电层远离所述衬底的一侧；

所述电极层包括多个叉指式换能器，所述叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至所述第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至所述第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；所述第一电极指和所述第二虚设电极指相对设置，所述第二电极指和所述第一虚设电极指相对设置；

其中，所述第一电极指与所述第一汇流条的夹角、所述第二电极指与所述第二汇流条的夹角、所述第一虚设电极指与所述第一汇流条的夹角和所述第二虚设电极指与所述第二汇流条的夹角相等；所述夹角的取值范围为75°～90°和-75°～-90°。

可选的，所述第一电极指和所述第二电极指均包括主体和两个端头；

所述端头与所述主体连接，所述端头与所述主体至少部分共用；

沿所述第一汇流条的长度方向，所述端头的宽度大于所述主体的宽度。

可选的，沿所述第一汇流条的长度方向，所述端头的宽度为所述主体的宽度的1.2倍～1.8倍。

可选的，所述端头的在垂直于所述第一汇流条长度方向上的长度为叉指式换能器波长的0.3～0.7倍。

可选的，所述第一电极指上的两个所述端头之间的距离以及所述第二电极指上的两个所述端头之间的距离均与所述叉指式换能器的孔径相等；

其中，所述第一电极指上的远离所述第一汇流条的端头与所述第二虚设电极指相对设置，所述第二电极指上的远离所述第二汇流条的端头与所述第一虚设电极指相对设置。

可选的，所述电极层还包括多个反射栅结构；

所述反射栅结构包括第三汇流条、第四汇流条和多条反射栅；