[发明专利]配向检测装置及其检测方法

权利要求书

1.一种配向检测装置，其特征在于，包括：

加热模组，包括加热腔，以及连接于所述加热腔的供热机构，以对所述加热腔加热，使得所述加热腔保持在预设温度范围内，所述供热机构包括热风箱以及连接于所述热风箱的送风管，所述加热腔包括与所述送风管相连通的至少一进风口；以及

检测模组，设置于所述加热腔内，所述检测模组包括载台以及设置于所述载台上的检测机构，其中，所述载台用于承载待测基板，所述检测机构用于检测在所述预设温度范围内的所述待测基板配向的电压序列；

至少一第一测温件，设置于所述加热腔内，并用于检测所述加热腔内的实时温度，当所述实时温度小于所述预设温度范围的最小值时，所述供热机构为升温状态，以对所述加热腔进行加热；

第二测温件，设置于所述送风管靠近所述热风箱的一端，并用于检测所述热风箱的出风温度，当所述实时温度小于所述预设温度范围的最小值时，所述供热机构用于根据所述出风温度以及设定温度的大小切换工作状态。

2.根据权利要求1所述的配向检测装置，其特征在于，当所述出风温度大于或等于所述设定温度时，所述供热机构切换为停止升温状态；

当所述出风温度小于所述设定温度时，所述供热机构保持为所述升温状态。

3.根据权利要求2所述的配向检测装置，其特征在于，所述设定温度大于所述预设温度范围的最小值。

4.根据权利要求2所述的配向检测装置，其特征在于，所述热风箱包括鼓风机以及加热器，当所述供热机构为所述升温状态时，所述鼓风机处于鼓风状态，所述加热器处于加热状态；当所述供热机构为所述停止升温状态时，所述鼓风机保持为所述鼓风状态，所述加热器处于停止加热状态。

5.根据权利要求2所述的配向检测装置，其特征在于，所述供热机构包括连接于所述热风箱的回风管，所述加热腔包括与所述回风管相连通的至少一出风口，且所述进风口与所述出风口分别设置于所述加热腔的相对两侧。

6.根据权利要求5所述的配向检测装置，其特征在于，所述加热腔包括多个进风口以及多个出风口，所述送风管远离所述热风箱的一端包括与多个所述进风口一一对应设置的多个送风支管，所述回风管远离所述热风箱的一端包括与多个所述出风口一一对应设置的多个回风支管。

7.一种配向检测装置的检测方法，其特征在于，采用如权利要求1至6任一项所述的配向检测装置，包括以下步骤：

控制所述供热机构对所述加热腔进行加热，以使所述加热腔保持在所述预设温度范围内；以及

控制所述检测模组检测在所述预设温度范围内的所述待测基板配向的电压序列。

8.根据权利要求7所述的配向检测装置的检测方法，其特征在于，所述控制所述供热机构对所述加热腔进行加热，以使所述加热腔保持在所述预设温度范围内的步骤包括：

检测所述加热腔内的实时温度；

当所述实时温度小于所述预设温度范围的最小值时，所述供热机构为升温状态，以对所述加热腔进行加热。

9.根据权利要求8所述的配向检测装置的检测方法，其特征在于，所述供热机构包括热风箱，所述当所述加热腔内的实时温度小于所述预设温度范围的最小值时，所述供热机构为升温状态，以对所述加热腔进行加热的步骤包括：

检测所述热风箱的出风温度；

当所述出风温度大于或等于设定温度时，所述供热机构为停止升温状态；

当所述出风温度小于所述设定温度时，所述供热机构保持为所述升温状态。