[发明专利]伸缩电极反应装置与PECVD设备

权利要求书

1.伸缩电极反应装置，其特征在于，包括：

反应管组件，包括管体与端盖，所述端盖连接于所述管体的后端；

电极组件，包括电极杆与电极头，所述电极杆连接于所述端盖，并能够相对所述端盖沿所述管体的轴向移动，所述电极头位于所述管体内，且与所述电极杆电连接；

驱动组件，包括动力件、第一弹性件与第一连接件，所述动力件连接于所述端盖，所述第一连接件连接于所述电极杆，所述第一弹性件连接于所述动力件的输出轴与所述第一连接件之间。

2.根据权利要求1所述的伸缩电极反应装置，其特征在于，部分所述电极杆伸出于所述管体；

所述驱动组件位于所述管体的外侧，且所述第一连接件连接于所述管体的伸出部分。

3.根据权利要求2所述的伸缩电极反应装置，其特征在于，所述伸缩电极反应装置还包括第一密封件，所述第一密封件的一端连接于所述端盖，另一端连接于所述第一连接件，且能够随所述第一连接件的运动而伸缩，所述第一密封件与所述第一连接件限定出密封腔体，用于容纳所述电极杆的所述伸出部分。

4.根据权利要求3所述的伸缩电极反应装置，其特征在于，所述端盖还包括第二密封件，所述第二密封件位于所述端盖上供所述电极杆穿过的通孔处，所述第一密封件的所述一端连接于所述第二密封件。

5.根据权利要求1所述的伸缩电极反应装置，其特征在于，所述驱动组件包括两个所述第一弹性件与所述两个所述第一连接件；

所述伸缩电极反应装置包括两个所述电极组件，两个所述电极杆分别通过对应的所述第一连接件与所述第一弹性件连接于同一所述动力件。

6.根据权利要求5所述的伸缩电极反应装置，其特征在于，所述动力件位于两个所述电极组件之间，所述输出轴与两个所述电极杆平行，且所述输出轴与所述电极杆的距离相等。

7.根据权利要求5所述的伸缩电极反应装置，其特征在于，所述驱动组件还包括：

第二连接件，连接于所述输出轴，并通过所述第一弹性件与所述第一连接件连接；

第二弹性件，一端连接于所述第二连接件，另一端朝向所述端盖。

8.根据权利要求7所述的伸缩电极反应装置，其特征在于，所述第二弹性件为气弹簧，所述气弹簧包括缸体与活塞杆，所述缸体连接于所述第二连接件，所述活塞杆朝向所述端盖，且所述活塞杆相对所述缸体的伸出长度可调。

9.根据权利要求1所述的伸缩电极反应装置，其特征在于，所述伸缩电极反应装置还包括：

导向杆，连接于所述端盖，且沿所述轴向延伸；

导向件，连接于所述第一连接件，且能相对所述导向杆移动。

10.PECVD设备，其特征在于，包括：

权利要求1至9中任一项所述的伸缩电极反应装置；

推舟机构，用于将石墨舟从所述管体的前端送入所述管体。