[发明专利]伸缩电极反应装置与PECVD设备

说明书

本发明公开了一种伸缩电极反应装置与PECVD设备，伸缩电极反应装置包括反应管组件、电极组件与驱动组件，反应管组件包括管体与端盖，端盖连接于管体的后端；电极组件包括电极杆与电极头，电极杆连接于端盖，并能够相对端盖沿管体的轴向移动，电极头位于管体内，且与电极杆电连接；驱动组件包括动力件、第一弹性件与第一连接件，动力件连接于端盖，第一连接件连接于电极杆，第一弹性件连接于动力件的输出轴与第一连接件之间。上述伸缩电极反应装置中，当电极头与石墨舟发生接触后，随着动力件的进一步驱动，第一弹性件将发生弹性变形，使得电极头与石墨舟之间能够保持紧密的接触，保证接触的可靠性。

技术领域

本发明涉及太阳能电池板制造技术领域，尤其是涉及伸缩电极反应装置与PECVD设备。

背景技术

PECVD设备镀膜的基本流程是：将待反应的硅片及载体(石墨舟)放入反应管并与电极接触，待环境温度和真空达到设定值后进行射频放电镀膜，然后将镀好膜的硅片及载具送出反应管。相关技术中一般采用后电极的电极接入方式，即石墨舟通过推舟机构进入反应管中，在推舟机构到位的情况下，石墨舟与反应管后端的电极接触，此种方式要求石墨舟和电极连接处的具有较高的要求精度，然而实际生产中容易因电极杆变形等各种因素的影响造成石墨舟和电极之间出现线接触和虚接触等不良状况，影响镀膜质量。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种伸缩电极反应装置，能够实现基片的稳定安装。

本发明还提出了一种应用上述伸缩电极反应装置的PECVD设备。

根据本发明第一实施例的伸缩电极反应装置，包括：

反应管组件，包括管体与端盖，所述端盖连接于所述管体的后端；

电极组件，包括电极杆与电极头，所述电极杆连接于所述端盖，并能够相对所述端盖沿所述管体的轴向移动，所述电极头位于所述管体内，且与所述电极杆电连接；

驱动组件，包括动力件、第一弹性件与第一连接件，所述动力件连接于所述端盖，所述第一连接件连接于所述电极杆，所述第一弹性件连接于所述动力件的输出轴与所述第一连接件之间。

根据本发明实施例的伸缩电极反应装置，至少具有如下有益效果：

当动力件启动时，可以通过第一连接件与第一弹性件带动电极杆沿轴向运动，进而带动电极头与石墨舟接触或者分离。当电极头与石墨舟发生接触后，随着动力件的进一步驱动，第一弹性件将发生弹性变形，使得电极头与石墨舟之间能够保持紧密的接触，保证接触的可靠性。

根据本发明的一些实施例，部分所述电极杆伸出于所述管体；

所述驱动组件位于所述管体的外侧，且所述第一连接件连接于所述管体的伸出部分。

根据本发明的一些实施例，所述伸缩电极反应装置还包括第一密封件，所述第一密封件的一端连接于所述端盖，另一端连接于所述第一连接件，且能够随所述第一连接件的运动而伸缩，所述第一密封件与所述第一连接件限定出密封腔体，用于容纳所述电极杆的所述伸出部分。

根据本发明的一些实施例，所述端盖还包括第二密封件，所述第二密封件位于所述端盖上供所述电极杆穿过的通孔处，所述第一密封件的所述一端连接于所述第二密封件。

根据本发明的一些实施例，所述驱动组件包括两个所述第一弹性件与所述两个所述第一连接件；

所述伸缩电极反应装置包括两个所述电极组件，两个所述电极杆分别通过对应的所述第一连接件与所述第一弹性件连接于同一所述动力件。

根据本发明的一些实施例，所述动力件位于两个所述电极组件之间，所述输出轴与两个所述电极杆平行，且所述输出轴与所述电极杆的距离相等。

根据本发明的一些实施例，所述驱动组件还包括：