[发明专利]图像处理方法、装置、光学系统和计算机可读存储介质

说明书

本发明公开了一种图像处理方法、装置、光学系统和计算机可读存储介质。图像处理方法，包括：获取旋转扫描所得到的待测物的内圈部和外圈部的矩形图参数；根据内圈部和外圈部的矩形图参数对多个内圈部的矩形图和多个外圈部的矩形图进行预处理以形成待测物的矩形图；根据待测物的矩形图初始化目标饼图参数；确定目标饼图与待测物的矩形图的像素映射关系并根据像素映射关系和待测物的矩形图的像素值确定目标饼图的像素值。上述图像处理方法，通过对旋转扫描所得的待测物内圈部和外圈部的矩形图进行预处理而得到待测物的矩形图，进而获取像素映射关系和确定目标饼图的像素值，这样可以复原出待测物的饼图。

技术领域

本发明涉及图像处理技术领域，特别涉及一种图像处理方法、装置、光学系统和计算机可读存储介质。

背景技术

目前对于晶圆（wafer）缺陷质量检测，通过相机拍摄晶圆的图像再对图像进行检测。在拍摄晶圆图像时，相机和晶圆做相对旋转运动，使相机能够完成对整个晶圆的扫描。然而，由相机拍摄出来的原始图是矩形的，需要复原成饼图才能形成整个晶圆的图像。

发明内容

本发明的实施方式提供了一种图像处理方法、装置、光学系统和计算机可读存储介质。

本发明实施方式提供的一种图像处理方法，包括：

获取旋转扫描所得到的待测物的内圈部和外圈部的矩形图参数；

根据所述内圈部和所述外圈部的矩形图参数对多个所述内圈部的矩形图和多个所述外圈部的矩形图进行预处理以形成所述待测物的矩形图；

根据所述待测物的矩形图初始化目标饼图参数；

确定所述目标饼图与所述待测物的矩形图的像素映射关系并根据所述像素映射关系和所述待测物的矩形图的像素值确定所述目标饼图的像素值。

在某些实施方式中，所述内圈部的矩形图和所述外圈部的矩形图分别由两个线阵相机拍摄所得的，所述两个线阵相机沿所述待测物的径向方向排列。

在某些实施方式中，所述内圈部和所述外圈部的矩形图参数包括所述内圈部的矩形图的冗余宽度、内外圈重叠宽度、所述待测物一圈的行数，以及，所述内圈部和/或所述外圈部的矩形图搬移行数。

在某些实施方式中，所述预处理包括：

根据所述待测物一圈的行数，裁剪所述内圈部的矩形图和所述外圈部的矩形图中的多余行数；

根据所述内圈部的矩形图的冗余宽度裁剪所述内圈部的矩形图的冗余部位；

根据所述内外圈重叠宽度裁剪所述内圈部的矩形图和/或所述外圈部的矩形图；

根据所述内圈部和/或所述外圈部的矩形图搬移行数对裁剪所得的多个所述外圈部的矩形图和多个所述内圈部的矩形图进行拼接处理以获取所述待测物的矩形图。

在某些实施方式中，所述目标饼图的参数包括所述目标饼图的半径和空间矩阵，

根据所述待测物的矩形图初始化目标饼图参数，包括：

使所述目标饼图的半径等于所述待测物的矩形图的宽度；

初始化所述空间矩阵，所述空间矩阵为2R*2R的矩阵，R表示所述目标饼图的半径。

在某些实施方式中，确定所述目标饼图与所述待测物的矩形图的像素映射关系，包括：

提取所述目标饼图的空间矩阵中距所述空间矩阵中心点小于或等于所述目标饼图的半径的所有点；

对提取到的所有点通过预设函数映射回所述待测物的矩形图对应的位置以确定所述像素映射关系。

在某些实施方式中，所述预设函数包括所述目标饼图的像素点坐标与所述待测物的矩形图的像素点坐标的转换关系。