[发明专利]一种用于芯片的研磨液及其制备方法

说明书

本发明公开一种用于芯片的研磨液，包括研磨粉30‑40份、脱离子水50‑60份、润滑剂20‑30份、积压剂5‑15份、非离子表面活性剂10‑20份、防霉防腐剂5‑8份、分散剂10‑20份、螯合剂10‑20份、光亮剂3‑5份、悬浮稳定剂5‑15份。本发明能大幅度提高研磨速率，也具有优异的润滑积压性、冷却性、清洗性和防锈性，对提高生产效率、加工工件表面光滑度、沙粒消耗降低、增加寿命等方面均有优异的效果，并且具备优良的悬浮性，短时间内不会产生沉淀、絮凝、分层等现象，使用性能更强，其次，一方面减少了装载研磨液需要大量的容器，解决运输困难现象，提高运输效率，另一方面也避免各个试剂因长时间混合在一起产生过度反应现象，增加研磨液的保质期限，更加利于储存。

技术领域

本发明涉及研磨液领域，涉及一种用于芯片的研磨液，特别涉及一种用于芯片的研磨液及其制备方法。

背景技术

研磨液，是一种以液态形状展现的研磨材料，通常还有研磨砂、研磨粉等固态研磨材料，主要用于配合外部设备对产品表面进行研磨、抛光使用，在芯片制作过程中，就需要使用研磨液对芯片表面进行研磨，使得芯片表面光滑。

但现有的用于芯片的研磨液在制备时存在着一定的不足有待改善，首先，现有用于芯片的研磨液在制备的时候，研磨速率差，润滑积压性、冷却性、清洗性和防锈性差，而且悬浮能力差，在短时间内容易产生絮凝、沉淀和分层等现象，使用性能差；其次，现有的用于芯片的研磨液在制备的时候，直接制作成研磨液，一方面需要大容量容器进行装载，增加包装难度，同时也导致运输困难，实用性差，另一方面，研磨液各个试剂长时间混合在一起，长时间反应，会导致反应过度，影响研磨液质量的现象，导致研磨液的保质期限降低，实用性差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于芯片的研磨液，解决了现有用于芯片的研磨液在制备的时候，研磨速率差，润滑积压性、冷却性、清洗性和防锈性差，而且悬浮能力差，在短时间内容易产生絮凝、沉淀和分层等现象，使用性能差；其次，现有的用于芯片的研磨液在制备的时候，直接制作成研磨液，一方面需要大容量容器进行装载，增加包装难度，同时也导致运输困难，实用性差，另一方面，研磨液各个试剂长时间混合在一起，长时间反应，会导致反应过度，影响研磨液质量的现象，导致研磨液的保质期限降低，实用性差的技术问题；本发明中，通过设置研磨粉35份、脱离子水55份、润滑剂25份、积压剂10份、非离子表面活性剂15份、防霉防腐剂6份、分散剂15份、螯合剂15份、光亮剂4份、悬浮稳定剂10份，制得研磨剂A和研磨剂B，然后与市水混合后制得用于芯片的研磨液，能大幅度提高研磨速率，也具有优异的润滑积压性、冷却性、清洗性和防锈性，对提高生产效率、加工工件表面光滑度、沙粒消耗降低、增加寿命等方面均有优异的效果，并且具备优良的悬浮性，短时间内不会产生沉淀、絮凝、分层等现象，使用性能更强；通过将研磨液通过研磨剂A和研磨剂B分装，在使用时按照z＝(x+y)*15的公式混合过滤后的市水，一方面减少了装载研磨液需要大量的容器，解决运输困难现象，提高运输效率，另一方面也避免各个试剂因长时间混合在一起产生过度反应现象，增加研磨液的保质期限，更加利于储存。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种用于芯片的研磨液，该用于芯片的研磨液由以下重量份数的原料组成：研磨粉30-40份、脱离子水50-60份、润滑剂20-30份、积压剂5-15份、非离子表面活性剂10-20份、防霉防腐剂5-8份、分散剂10-20份、螯合剂10-20份、光亮剂3-5份、悬浮稳定剂5-15份；

优选的，该用于芯片的研磨液各组份具体重量份数如下：研磨粉35份、脱离子水55份、润滑剂25份、积压剂10份、非离子表面活性剂15份、防霉防腐剂6份、分散剂15份、螯合剂15份、光亮剂4份、悬浮稳定剂10份；

一种用于芯片的研磨液的制备方法，该制备方法具体包括以下步骤：

步骤一：将35份研磨粉和40份脱离子水放置到混合搅拌装置内进行混合，制得研磨剂A；