[发明专利]一种镀膜检测装置、镀膜设备

权利要求书

1.一种镀膜检测装置，其特征在于，包括：

安装架，至少用于设置位于检测位置的第一检测片和位于预处理位置的第二检测片；

所述检测位置，被配置为使位于所述检测位置的第一检测片接收膜层材料沉积；

所述预处理位置，被配置为使位于所述预处理位置的第二检测片接收预处理，以在所述第二检测片表面形成预设膜层；

第一驱动机构，与所述安装架连接，用于驱动所述安装架运动，以将预处理后的第二检测片由所述预处理位置输送至所述检测位置。

2.根据权利要求1所述的镀膜检测装置，其特征在于，所述装置还包括：

阻挡机构，沿预处理方向设置在所述预处理位置的前侧，被配置为在预处理阶段位于第一位置，以使位于所述预处理位置的第二检测片接收预处理，在非预处理阶段位于第二位置以遮挡所述第二检测片。

3.根据权利要求1所述的镀膜检测装置，其特征在于，沿所述安装架的周向设置有至少两个用于安装检测片的安装位，其中一个安装位与所述检测位置相对应，其中一个安装位与所述预处理位置相对应，所述第一驱动机构用于驱动所述安装架旋转，以使各所述安装位依次与所述预处理位置相对应、与所述检测位置相对应。

4.根据权利要求3所述的镀膜检测装置，其特征在于，所述安装架的横截面呈正多边形，各所述安装位与所述安装架的一个侧壁相对应，所述第一驱动机构被配置为驱动所述安装件旋转预设角度，以使各所述安装位依次与所述预处理位置相对应、与所述检测位置相对应。

5.根据权利要求3所述的镀膜检测装置，其特征在于，所述安装架包括至少两个依次连接的本体，所述安装架还包括与所述本体相对应的固定板，所述固定板压设在所述本体上，所述安装位为设置在所述本体和所述固定板之间且用于安装检测片的容纳槽，所述固定板开设有用于暴露所述检测片表面的第一镂空，以使所述检测片通过所述第一镂空接收膜层材料沉积或者预处理。

6.根据权利要求5所述的镀膜检测装置，其特征在于，相邻两个所述本体通过铰接结构连接，所述至少两个本体通过铰接结构弯折成正多边形。

7.根据所述要求1所述的镀膜检测装置，其特征在于，在所述安装架上沿直线方向设置有至少两个用于安装检测片的安装位，其中一个安装位与所述检测位置相对应，其中一个安装位与所述预处理位置相对应，所述第一驱动机构用于驱动所述安装架沿直线方向运动，以使各所述安装位依次与所述预处理位置相对应、与所述检测位置相对应。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的镀膜检测装置，其特征在于，所述镀膜检测装置还包括遮挡板和第二驱动机构，所述遮挡板沿膜层材料沉积方向位于所述检测位置的前侧，所述遮挡板开设有用于使镀膜材料通过的开口，所述第二驱动机构被配置为驱动所述遮挡板运动，以使所述开口周期性地与所述检测位置或所述预处理位置相对应。

9.根据权利要求8所述的镀膜检测装置，其特征在于，

所述第二驱动机构与所述遮挡板连接，所述第二驱动机构被配置为驱动所述遮挡板旋转；或者，

所述第二驱动机构与所述遮挡板连接，所述第二驱动机构被配置为驱动所述遮挡板沿直线往复运动。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括蒸发源以及权利要求1至9中任一项所述的镀膜检测装置，所述检测位置和所述预处理位置均朝向所述蒸发源。