[发明专利]一种用于多层板和HDI板的水平沉铜工艺有效
申请号: | 202110397010.3 | 申请日: | 2021-04-13 |
公开(公告)号: | CN113133225B | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 丁先峰;李良华 | 申请(专利权)人: | 广州皓悦新材料科技有限公司 |
主分类号: | H05K3/42 | 分类号: | H05K3/42 |
代理公司: | 广州科沃园专利代理有限公司 44416 | 代理人: | 张帅;陆丰艳 |
地址: | 510635 广东省广州市高新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 多层 hdi 水平 工艺 | ||
本发明属于沉铜工艺技术领域,具体涉及一种用于多层板和HDI板的水平沉铜工艺。本发明水平沉铜工艺的步骤为:在超声条件下,对基材进行膨松处理,对膨松处理后基材进行除胶处理,对除胶处理后基材进行预中和、中和处理,对中和处理后基材进行整孔处理,对整孔处理后基材进行微蚀处理,对微蚀处理后基材进行预浸、活化处理,对活化处理后基材进行还原处理,将还原处理后基材浸入水平沉铜液中进行沉铜,水洗,烘干。采用本发明所得沉铜背光稳定,背光级数达10级。采用本发明的水平沉铜工艺所得镀层附着性、抗热冲击能力强,具有极佳的可靠性测试表现,通过10次热冲击测试,无爆板、无分层、无白点、内层铜无分离。
技术领域
本发明属于沉铜工艺技术领域,具体涉及一种用于多层板和HDI板的水平沉铜工艺。
背景技术
在多层板和高密度互连板(HDI板)制造技术中,关键的就是沉铜工序。它主要的作用就是使双面和多层印制电路板的非金属孔,通过氧化还原反应在孔壁上沉积一层均匀的导电层,再经过电镀加厚镀铜,达到回路的目的。要达到此目的就必须选择性能稳定、可靠的沉铜液和制定正确、可行的以及有效的沉铜工艺。随着社会对环境保护意识愈渐强求,传统龙门沉铜因为使用大量络合剂、甲醛等环境不友好材料而引发许多诟病之处,水平沉铜愈来愈受到印制电路生产商的青睐。水平沉铜工艺在制程能力、设备自动化集成、环境友好、产品品质和生产效率等方面都有着巨大的优势。
然而,现有的用于多层板和HDI板的水平沉铜工艺存在沉铜背光不良、沉铜层耐热冲击性能差等问题。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种用于多层板和HDI板的水平沉铜工艺。采用本发明的水平沉铜工艺所得沉铜背光稳定,背光级数达10级。采用本发明的水平沉铜工艺所得镀层附着性、抗热冲击能力强,具有极佳的可靠性测试表现,通过10次热冲击测试(288℃维持10秒),无爆板、无分层、无白点、内层铜无分离。
本发明的技术方案是:
一种用于多层板和HDI板的水平沉铜工艺,步骤如下:
S1在超声条件下,使用膨松液对基材进行膨松处理,超声功率为100-200W,膨松温度为70-80℃,膨松时间为60-90S,水洗,得膨松处理后基材;
S2在超声条件下,使用除胶剂对步骤S1所得膨松处理后基材进行除胶处理,超声功率为100-200W,除胶温度为75-85℃,除胶时间为150-180S,水洗,得除胶处理后基材;
S3使用预中和剂对步骤S2所得除胶处理后基材进行预中和处理,预中和温度为20-30℃,预中和时间为8-15S,使用中和液对预中和后的基材进行中和处理,中和温度为25-35℃,中和时间为30-40S,水洗,得中和处理后基材;
S4在超声条件下,使用整孔剂对步骤S3所得中和处理后基材进行整孔处理,超声功率为100-200W,整孔温度为40-50℃,整孔时间为35-45S,水洗,得整孔处理后基材;
S5使用微蚀剂对步骤S4所得整孔处理后基材进行微蚀处理,微蚀温度为20-30℃,微蚀时间为40-50S,水洗,得微蚀处理后基材;
S6使用预浸剂对步骤S5所得微蚀处理后基材进行预浸处理,预浸温度为20-30℃,预浸时间为10-20S,在超声条件下,使用活化剂对预浸后的基材进行活化处理,超声功率为100-200W,活化温度为40-50℃,活化时间为40-50S,水洗,得活化处理后基材;
S7使用还原液对步骤S6所得活化处理后基材进行还原处理,还原温度为20-30℃,还原时间为30-40S,水洗,得还原处理后基材;
S8将步骤S7所得还原处理后基材浸入水平沉铜液中进行沉铜,水洗,烘干。
进一步地,所述活化剂包括以下质量浓度的组分:二氨基吡啶40-60g/L,硫酸钯8-15g/L,氢氧化钠4-6g/L,聚乙二醇4-6g/L。
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