[发明专利]烘干设备和晶圆烘干方法

权利要求书

1.一种烘干设备(100)，用于对工件(200)进行烘干，其特征在于，所述烘干设备(100)包括：

烘干区(110)，设有抽风腔(1104)和能够打开或封闭的烘干腔(1102)，所述烘干腔(1102)用于放置所述工件(200)，所述抽风腔(1104)与所述烘干腔(1102)相互连通；

气路安装区(120)，与所述烘干腔(1102)通过管路连接，所述气路安装区(120)用于为所述烘干腔(1102)输入加热氮气；

主抽风管道(130)，与所述烘干区(110)连接，所述主抽风管道(130)用于排出废气；

框架(140)，用于设置所述烘干区(110)、所述气路安装区(120)与所述主抽风管道(130)。

2.根据权利要求1所述的烘干设备(100)，其特征在于，所述烘干区(110)包括：

托槽(112)，设有抽风口(1122)和导风板(1124)，所述抽风口(1122)与所述主抽风管道(130)连接，所述导风板(1124)设于所述抽风口(1122)的上方；

烘干槽(114)，悬挂于所述托槽(112)内；

内抽风管路(116)，一端与所述主抽风管道(130)连接，另一端与所述抽风腔(1104)连接；

其中，所述烘干腔(1102)与所述抽风腔(1104)分别设于所述烘干槽(114)内。

3.根据权利要求2所述的烘干设备(100)，其特征在于，所述烘干槽(114)包括：

烘干槽体(1140)；

槽盖(1144)，用于打开或封闭所述烘干槽体(1140)，且所述槽盖(1144)在封闭所述烘干槽体(1140)后与所述烘干槽体(1140)围合出所述烘干腔(1102)；

喷淋管路(1146)，与所述气路安装区(120)连接，用于向所述烘干腔(1102)内喷淋加热氮气；

其中，所述抽风腔(1104)设于所述烘干槽体(1140)内，所述喷淋管路(1146)设于围合出所述烘干腔(1102)的所述槽盖(1144)和/或所述烘干槽体(1140)上。

4.根据权利要求3所述的烘干设备(100)，其特征在于，所述喷淋管路(1146)包括：

第一喷淋管(11462)，设于所述烘干槽体(1140)内的相对两侧，所述第一喷淋管(11462)上设有多个喷孔；

第二喷淋管(11464)，设于所述槽盖(1144)朝向所述烘干腔(1102)的一面，所述第二喷淋管(11464)设有多个喷孔。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的烘干设备(100)，其特征在于，所述烘干设备(100)还包括：

摇摆机构(150)，设于所述框架(140)上；

其中，所述烘干腔(1102)内设有网板组件(118)，所述网板组件(118)用于支撑所述工件(200)，所述网板组件(118)转动连接于所述烘干槽(114)的底部，所述摇摆机构(150)伸入所述烘干槽(114)内驱动所述网板组件(118)摆动。

6.根据权利要求5所述的烘干设备(100)，其特征在于，所述摇摆机构(150)包括：

动力组件(154)，包括第一驱动部(1541)和第二驱动部(1542)；

传动组件(152)，所述传动组件(152)与所述动力组件(154)连接，所述传动组件(152)与所述网板组件(118)连接；所述第一驱动部(1541)用于带动传动杆(1521)沿第一方向运动；所述第二驱动部(1542)用于带动所述传动杆(1521)沿第二方向运动，以实现所述网板组件(118)的摆动。

7.根据权利要求6所述的烘干设备(100)，其特征在于，所述传动组件(152)包括：

第一滑动组件(1528)，所述第一滑动组件(1528)用于与所述框架(140)连接；

滑动板(1527)，所述滑动板(1527)与所述传动杆(1521)相连，且所述滑动板(1527)与所述第一滑动组件(1528)相适配，所述滑动板(1527)与所述第一滑动组件(1528)滑动连接。