[发明专利]烘干设备和晶圆烘干方法

说明书

本申请属于晶圆干燥技术领域，提供烘干设备和晶圆烘干方法。烘干设备包括：烘干区，设有抽风腔和能够打开或封闭的烘干腔，烘干腔用于放置工件，抽风腔与烘干腔相互连通；气路安装区，与烘干腔通过管路连接，气路安装区用于为烘干腔输入加热氮气；主抽风管道，与烘干区连接，主抽风管道用于排出废气；框架，用于设置烘干区、气路安装区与主抽风管道。本申请通过框架实现了结构优化，提升了安装空间，更有利于操作，且可以防止外部厂务空气对内部晶圆的污染。通过向烘干腔充入加热氮气，能够减少现场操作人员以及设备的安全隐患，还降低了处理废气的成本。

技术领域

本申请属于晶圆干燥技术领域，具体而言，涉及烘干设备和晶圆烘干方法。

背景技术

在相关技术中的半导体清洗工艺中，晶圆干燥作为湿法清洗工艺最后的收尾动作，是非常重要的一个步骤，需要确保有效的移除晶圆表面的残余水分，并且，必须能控制设备内部的颗粒数量，保证设备及晶圆的洁净度。

现有的半导体晶圆湿法设备，主要采用异丙醇蒸汽加氮气的烘干方式，这种烘干方式，主要存在的问题有：1.烘干组件内部管路复杂，内部空间较小，不便于设备的安装及维护；2.异丙醇具有毒性，一旦在使用中出现泄漏，对操作人员的伤害较大；3.异丙醇形成的液体为易燃液体，使用中具有一定危险性；4.异丙醇使用后气体排放，需经过处理，处理成本较高。

发明内容

根据本发明的实施例旨在解决或改善上述技术问题。

根据本发明的实施例的第一目的在于提供一种烘干设备。

根据本发明的实施例的第二目的在于提供一种晶圆烘干方法。

为实现根据本发明的实施例的第一目的，本发明的技术方案提供了一种烘干设备，用于对工件进行烘干，烘干设备包括：烘干区，设有抽风腔和能够打开或封闭的烘干腔，烘干腔用于放置工件，抽风腔与烘干腔相互连通；气路安装区，与烘干腔通过管路连接，气路安装区用于为烘干腔输入加热氮气；主抽风管道，与烘干区连接，主抽风管道用于排出废气；框架，用于设置烘干区、气路安装区与主抽风管道。

在该技术方案中，通过将烘干区、气路安装区和主抽风管道分别设置在框架内，实现了结构优化，提升了安装空间，更方便对工件进行烘干操作。框架主要可以为整机提供结构性支撑，并使得多个部件在框架内有序排布，布局划分更合理，以提高操作便利性。另外，框架还可以隔离烘干设备的内部与外部厂务空气，可以防止外部厂务空气对内部工件的污染。

另外，根据本发明的实施例提供的技术方案还可以具有如下附加技术特征：

上述技术方案中，烘干区包括：托槽，设有抽风口和导风板，抽风口与主抽风管道连接，导风板设于抽风口的上方；烘干槽，悬挂于托槽内；内抽风管路，一端与主抽风管道连接，另一端与抽风腔连接；其中，烘干腔与抽风腔分别设于烘干槽内。

在该技术方案中，烘干槽悬挂于托槽内，对进入托槽内空气可方便地通过抽风口排出到主抽风管道内，能够减少或避免外部空气对工件造成污染，保证了烘干区对工件进行烘干的效果。导风板设置在抽风口的上方，能够加快废气或空气通过抽风口进入主抽风管道内。

上述任一技术方案中，烘干槽包括：烘干槽体；槽盖，用于打开或封闭烘干槽体，且槽盖在封闭烘干槽体后与烘干槽体围合出烘干腔；喷淋管路，与气路安装区连接，用于向烘干腔内喷淋加热氮气；其中，抽风腔设于烘干槽体内，喷淋管路设于围合出烘干腔的槽盖和/或烘干槽体上。

即烘干槽体在槽盖封闭后形成烘干腔，喷淋管路设置在槽盖内侧，和/或槽体内侧。

在该技术方案中，槽盖扣合在烘干槽体上可与烘干槽体围合出烘干腔。打开槽盖，可向烘干腔取放工件。喷淋管路可设置一道、两道或多道。通过第二喷淋管与第一喷淋管的结合使用，可以形成由从上至下的气流、水平方向的气流和倾斜向下的气流形成的多向气流场，能够覆盖多个工件和载具的尺寸范围。