[发明专利]一种真空内电加热喷淋头结构

权利要求书

1.一种真空内电加热喷淋头结构，设置在具有真空腔体的镀膜设备上，其特征在于：包括，

喷淋顶板，位于大气侧内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；

喷淋板，所述的喷淋板位于真空侧，连接于所述的喷淋顶板且具有凹进部，所述凹进部上设有多个喷淋通孔，该凹进部罩住喷淋气体入口形成一喷淋腔室；

加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内或者置于喷淋板的上端面上；

阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，连接于所述喷淋顶板。

2.如权利要求1所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：在喷淋板上设有环形的凹槽，加热环嵌入到凹槽内上端面与阻热环接触连接。

3.如权利要求1所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：还包括一热辐射隔板，设置在加热环与阻热环之间。

4.如权利要求1所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：在阻热环与喷淋板接触处、喷淋顶板与喷淋板接触处均设有一密封圈。

5.如权利要求1所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：加热环通过在喷淋顶板外接一供电装置对其加热。

6.如权利要求1所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：所述的加热环与阻热环采用镍基合金材料。

7.如权利要求1所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：喷淋腔室内还设有一阻流板，该阻流板上设有多个阻流通孔，喷淋气体进入方向为顺次经过气体入口、阻流板及喷淋板。

8.如权利要求7所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：阻流板上的阻热气孔直径小于喷淋板的通气孔。