[发明专利]一种真空内电加热喷淋头结构

说明书

本发明属于真空镀膜设备技术领域，具体提供了一种真空内电加热喷淋头结构，包括喷淋顶板，所述的喷淋顶板内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；喷淋顶板与腔体外壳连接处设有一圈密封条；喷淋板，与喷淋顶板连接且具有凹进部，上设有多个喷淋通孔。加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内；阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，与喷淋顶板连接。可实现真空腔体内对喷淋板的高温加热，通过结构优化调整热阻后喷淋板温度可达到300℃，同时减少通过喷淋顶板对外部的热损失，保障了其温度波动≤±5℃。同时保障外部大气侧空间温度符合生产规范。

技术领域

本发明属于真空镀膜设备技术领域，具体提供了一种真空内电加热喷淋头结构。

背景技术

真空镀膜设备中，真空腔体内需要满足相关镀膜沉积的温度工艺要求，现有技术中，该真空腔体内的温度通过从外部热传导方式达到内部的温度工艺，即大气端热源通过顶板间接传热给喷淋板，温度不建议超高250℃，否则顶板与容器的密封圈会很快老化而无法使用无法实现密封作用，对真空腔体内的真空度有影响。但是温度低又无法满足真空腔体内温度工艺，进而影响镀膜沉积效果。另外喷淋顶板温度过高的话不利于安全生产，容易产生事故。

发明内容

鉴于上述问题，本发明提供了一种真空内电加热喷淋头结构，设置在具有真空腔体的镀膜设备上，包括，

喷淋顶板，位于大气侧内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；

淋板，所述的喷淋板位于真空侧，连接于所述的喷淋顶板且具有凹进部，所述凹进部上设有多个喷淋通孔，该凹进部罩住喷淋气体入口形成一喷淋腔室；

加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内或者置于喷淋板的上端面上；

阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，连接于所述喷淋顶板。

进一步地，在所述的喷淋板上设有环形的凹槽，加热环嵌入到凹槽内上端面与阻热环接触连接。

进一步地，还包括一热辐射隔板，设置在加热环与阻热环之间。

进一步地，在阻热环与喷淋板接触处、喷淋顶板与喷淋板接触处均设有一密封圈。

进一步地，加热环通过在喷淋顶板外接一供电装置对其加热。

进一步地，所述的加热环与阻热环采用镍基合金材料。

进一步地，喷淋腔室内还设有一阻流板，该阻流板上设有多个阻流通孔，喷淋气体进入方向为顺次经过气体入口、阻流板及喷淋板。

进一步地，所述的阻流板上的阻热气孔直径小于喷淋板的通气孔。

本发明的优势在于：可实现真空腔体内对喷淋板的高温加热，通过结构优化调整热阻后喷淋板温度可达到300℃，同时减少通过喷淋顶板对外部的热损失，保障了其温度波动≤±5℃。同时保障外部大气侧空间温度符合生产规范。

附图说明

图1为本发明的一种实施例结构示意图；

图2为本发明的另一种实施例结构示意图；

其中，喷淋顶板－1、喷淋气体入口－2、密封条－3、喷淋板－4、喷淋腔室－5、加热环－6、阻热环－7、热辐射隔板－8、密封圈－9、阻流板－10、阻热环螺钉－11.

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

参考图1，参考图1，本发明提供了一种真空内电加热喷淋头结构的具体实施方式：该喷淋头结构设置在具有真空腔体的镀膜设备上，包括，