[发明专利]显示装置在审
申请号: | 202110410335.0 | 申请日: | 2021-04-16 |
公开(公告)号: | CN113540171A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 金埈焕;金兑映;朴锺宇;林基主;黄贤澈 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;刘铮 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示装置 | ||
本申请涉及包括具有增加的电子或空穴的迁移率的薄膜晶体管的显示装置。该显示装置包括:第一半导体层,布置在衬底上并且包括第一沟道区、第一源极区和第一漏极区;第一应变器,布置在衬底和第一半导体层之间,并且在平面图中与第一源极区重叠;第二应变器,布置在衬底和第一半导体层之间,并且在平面图中与第一漏极区重叠,其中第二应变器与第一应变器间隔开;栅极绝缘层,布置在第一半导体层上;以及第一栅电极,布置在栅极绝缘层上并且在平面图中与第一半导体层重叠。
相关申请的交叉引用
本申请要求于2020年4月22日提交的第10-2020-0048851号韩国专利申请的优先权、以及从其产生的所有权益,该韩国专利申请的内容通过引用以其整体并入本文中。
技术领域
一个或多个实施方式涉及一种显示装置,并且更具体地,涉及一种包括具有增加的电子或空穴的迁移率的薄膜晶体管的显示装置。
背景技术
显示装置可视地显示数据。显示装置可以用于诸如移动电话的小尺寸产品或诸如电视的大尺寸产品中。
显示装置包括多个像素,所述多个像素接收电信号并发射光以向外部显示图像。像素中的每个包括发光元件。例如,有机发光显示装置包括有机发光二极管作为发光元件。通常,在有机发光显示装置中,薄膜晶体管和有机发光二极管布置在衬底上,并且有机发光二极管自身发光。
近来,随着显示装置的使用已增加,已经开发了用于改善其质量的各种设计。
发明内容
在现有的显示装置中,薄膜晶体管中的电子或空穴的迁移率不适于显示装置的高速驱动。
为了解决包括以上问题的各种问题,一个或多个实施方式包括这样的显示装置:其包括具有增加的电子或空穴的迁移率的薄膜晶体管。然而,该目的仅是示例,并且本公开的范围不由此限制。
另外的方面将在随后的说明书中部分地阐述,并且部分地将从说明书中显而易见,或者可以通过本公开的所呈现的实施方式的实践而习得。
根据一个或多个实施方式,显示装置包括:第一半导体层,布置在衬底上并且包括第一沟道区、第一源极区和第一漏极区;第一应变器,布置在衬底和第一半导体层之间,并且在平面图中与第一源极区重叠;第二应变器,布置在衬底和第一半导体层之间,并且在平面图中与第一漏极区重叠,其中第二应变器与第一应变器间隔开;栅极绝缘层,布置在第一半导体层上;以及第一栅电极,布置在栅极绝缘层上并且在平面图中与第一半导体层重叠。
显示装置还可以包括:缓冲层,布置在衬底和第一应变器之间,并且限定第一凹槽和第二凹槽,其中,第一应变器的一部分可以被掩埋在第一凹槽中,以及第二应变器的一部分可以被掩埋在第二凹槽中。
显示装置还可以包括:缓冲层,布置在衬底和第一应变器之间,并且限定暴露衬底的一部分的第一通孔和第二通孔,其中,第一应变器的一部分可以被掩埋在第一通孔中,以及第二应变器的一部分可以被掩埋在第二通孔中。
在厚度方向上从衬底的底表面到第一沟道区的顶表面的距离可以小于从衬底的底表面到第一源极区的顶表面的距离。
第一薄膜晶体管可以包括第一半导体层和第一栅电极,其中第一薄膜晶体管可以是开关薄膜晶体管。
第一应变器和第二应变器中的每个可以具有压缩膜应力。
第一应变器中的材料的颗粒之间的距离和第二应变器中的材料的颗粒之间的距离各自可以大于第一半导体层中的材料的颗粒之间的距离。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的