[发明专利]一种在线式快速抽真空的真空等离子机

权利要求书

1.一种在线式快速抽真空的真空等离子机，包括外机架(1)，所述外机架(1)设有内腔；其特征在于，所述内腔中设有负压储存仓(21)，和设置在负压储存仓(21)下侧面的等离子真空仓(22)；所述内腔中还设有真空泵装置(31)，所述真空泵装置(31)上连接有真空止回路管(32)；所述真空止回路管(32)连接有第一支路管(321)和第二支路管(322)；所述负压储存仓(21)和真空止回路管(32)通过所述第一支路管(321)连通，所述等离子真空仓(22)和真空止回路管(32)通过所述第二支路管(322)连通，且所述第一支路管(321)和第二支路管(322)连通；

所述真空等离子机还包括移动台(5)，所述移动台(5)上设有传送带(51)；所述传送带(51)上还设置有工件台(52)；所述移动台(5)的下方还设有气缸立柱导轨装置(6)，所述移动台(5)通过气缸立柱导轨装置(6)上下升降；所述真空等离子机还包括水平移动装置，所述气缸立柱导轨装置(6)安装在水平移动装置上，所述水平移动装置在水平面水平移动，驱动气缸立柱导轨装置(6)水平移动，从而驱动所述移动台(5)水平移动；

所述内腔中还设有等离子发生器(41)，所述等离子发送器(41)设有高压线，所述等离子真空仓(22)内设有铜板，所述高压线射频连接至铜板上。

2.根据权利要求1所述的在线式快速抽真空的真空等离子机，其特征在于，所述等离子真空仓(22)下侧开口，所述工件台(52)为板状结构；通过水平移动装置，所述移动台(5)水平移动，驱使所述工件台(52)水平移动至所述真空仓(22)下方后，通过所述气缸立柱导轨装置(6)，驱动所述工件台(52)向上移动至所述真空仓(22)下侧开口处，使得所述等离子真空仓(22)和工件台(52)形成密闭空间。

3.根据权利要求2所述的在线式快速抽真空的真空等离子机，其特征在于，所述等离子真空仓(22)为方形体结构，所述等离子真空仓(22)的下侧开口为方形结构，所述工件台(52)为方形结构，且所述工件台(52)和等离子真空仓(22)的下侧开口的尺寸相同。

4.根据权利要求2所述的在线式快速抽真空的真空等离子机，其特征在于，所述真空等离子机开启后，所述真空泵装置(31)通过真空止回路管(32)和第一支路管(321)，预先对所述负压储存仓(21)进行抽真空，使得所述负压储存仓(21)保持负压状态；

当所述工件台(52)与所述等离子真空仓(22)连接形成密闭空间后；所述真空泵装置(31)通过真空止回路管(32)和第二支路管(322)，对所述等离子真空仓(22)进行抽真空；同时，负压状态下的负压储存仓(21)，通过所述第一支路管(321)和第二支路管(322)，对所述等离子真空仓(22)进行抽真空。

5.根据权利要求4所述的在线式快速抽真空的真空等离子机，其特征在于，所述真空止回路管(32)上设有第一真空角阀(331)，所述第一支路管(321)上设有第二真空角阀(332)，所述第二支路管(322)上设有第三真空角阀(333)。

6.根据权利要求1所述的在线式快速抽真空的真空等离子机，其特征在于，所述外机架(1)的下方设有底板(71)；所述水平移动装置位于所述底板(71)的底侧，所述水平移动装置为万向轮(72)。

7.根据权利要求2所述的在线式快速抽真空的真空等离子机，其特征在于，所述等离子真空仓(22)的下方还设有限位装置，当所述工件台(52)移动至所述等离子真空仓(22)的下侧开口处后，所述限位装置驱动所述工件台(52)紧密连接在所述真空仓(22)的下侧开口；所述真空等离子机还设有光电检测装置，所述光电检测装置用于检测所述工件台(52)与等离子真空仓(22)是否密闭连接；

所述等离子真空仓(22)设有活动连接的仓门(221)，所述等离子真空仓(22)上还设有观察仓(222)，所述观察仓(222)设有透明装置。