[发明专利]一种在线式快速抽真空的真空等离子机

说明书

本发明涉及等离子机结构技术领域，尤其公开了一种在线式快速抽真空的真空等离子机；包括外机架，所述外机架设有内腔；所述内腔中设有负压储存仓，和设置在负压储存仓下侧面的等离子真空仓；所述内腔中还设有真空泵装置，所述真空泵装置上连接有真空止回路管；所述真空止回路管连接有第一支路管和第二支路管；所述负压储存仓和真空止回路管通过所述第一支路管连通，所述等离子真空仓和真空止回路管通过所述第二支路管连通，且所述第一支路管和第二支路管连通；所述真空等离子机还包括移动台，所述移动台上设有传送带；所述传送带上还设置有工件台；本发明的真空等离子机可极大缩减抽真空时长，极大提高工作效率。

技术领域

本发明涉及等离子机结构技术领域，尤其涉及一种在线式快速抽真空的真空等离子机。

背景技术

目前，等离子清洗机在市场处于广泛的应用，等离子清洗机一般分为常压式等离子清洗机和真空式等离子清洗机，或称为等离子表面处理机，是一种全新的高科技技术，等离子体的(活性)组成包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

目前，真空式等离子清洗机使用越来越广泛，传统的真空式等离子清洗机在使用过程中，需要运行一定的时间进行抽真空，而且抽真空的时间比较长，导致整个程序运行下来，需要操作人员较长时间的等待，工作效率较低，增加生产成本。

发明内容

本发明的目的是提供一种预设负压仓，可极大缩减抽真空时长，极大提高工作效率的在线式快速抽真空的真空等离子机。

为解决上述技术问题，本发明所采取的技术方案是：一种在线式快速抽真空的真空等离子机，包括外机架，所述外机架设有内腔；所述内腔中设有负压储存仓，和设置在负压储存仓下侧面的等离子真空仓；所述内腔中还设有真空泵装置，所述真空泵装置上连接有真空止回路管；所述真空止回路管连接有第一支路管和第二支路管；所述负压储存仓和真空止回路管通过所述第一支路管连通，所述等离子真空仓和真空止回路管通过所述第二支路管连通，且所述第一支路管和第二支路管连通；

所述真空等离子机还包括移动台，所述移动台上设有传送带；所述传送带上还设置有工件台；所述移动台的下方还设有气缸立柱导轨装置，所述移动台通过气缸立柱导轨装置上下升降；所述真空等离子机还包括水平移动装置，所述气缸立柱导轨装置安装在水平移动装置上，所述水平移动装置在水平面水平移动，驱动气缸立柱导轨装置水平移动，从而驱动所述移动台水平移动；

所述内腔中还设有等离子发生器，所述等离子发送器设有高压线，所述等离子真空仓内设有铜板，所述高压线射频连接至铜板上。

本发明有益效果包括：

1、通过设置负压仓，预先使负压仓保持负压状态；当需要对等离子真空仓抽真空时，负压仓和真空泵装置同时对等离子真空仓抽真空，极大的缩短抽真空的时间，极大提高工作效率。

2、由于本发明中，分为等离子真空仓和与负压储存仓，因此，每个仓的空间容量少二分之一，能到达快速抽真空的效率。

3、本发明中，在管道上还设有多个真空角阀，便于控制气流，防止等离子真空仓向负压仓回流。

4、等离子真空仓可为铝制真空仓体，作为负极一端与地线相连接，导电性较强，散热良好，在等离子工作时，能够瞬间释放电弧，达到等离子真空处理效果。

5、工件台可为铝板，为铝制导电氧化板，不易刮花碰伤，而且导电性较强，轻量化便于底下装有气缸立柱导轨装置便能轻易推动。

6、本发明中，采用工件台与等离子真空仓密闭融合的方式，无需人工打开真空仓门放料，使得上下料更方便，在操作上方便快捷。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。