[发明专利]一种等离子体表面放电的柔性电极及装置

权利要求书

1.一种等离子体表面放电的柔性电极，其特征在于，包括：

基底层；

绝缘层，设在所述基底层上；

其中，所述基底层和所述绝缘层之间设有导电膜层，所述基底层与所述绝缘层相对的一侧表面上设有若干用于引导所述导电膜层产生等离子体表面放电的微型凸起，所述导电膜层覆盖设在所述微型凸起的表面。

2.如权利要求1所述的一种等离子体表面放电的柔性电极，其特征在于，若干所述微型凸起均匀间隔设置，相邻两个所述微型凸起的间距范围为0.3~2毫米，所述微型凸起的高度范围为0.5~1.5毫米。

3.如权利要求1所述的一种等离子体表面放电的柔性电极，其特征在于，所述基底层、所述微型凸起和所述绝缘层采用柔性材料制作，所述柔性材料包括硅聚二甲基硅氧烷、聚乳酸、聚对苯二甲酸乙二醇酯、橡胶、硅胶、凝胶、聚酰亚胺中的一种或多种的组合。

4.如权利要求1所述的一种等离子体表面放电的柔性电极，其特征在于，所述微型凸起与所述基底层一体化成型，所述基底层和所述绝缘层的厚度范围为0.1~2毫米。

5.如权利要求1至4任一所述的一种等离子体表面放电的柔性电极，其特征在于，所述微型凸起采用圆锥形或圆柱形的微阵列结构，圆锥形或圆柱形所述微型凸起的底面直径范围为0.3~1毫米。

6.如权利要求1至4任一所述的一种等离子体表面放电的柔性电极，其特征在于，所述微型凸起采用棱锥形或棱柱形的微阵列结构，棱锥形或棱柱形所述微型凸起的底面上任意两个顶点的最长连线长度范围为0.3~1毫米。

7.如权利要求1至4任一所述的一种等离子体表面放电的柔性电极，其特征在于，所述微型凸起采用圆台形或棱台形的微阵列结构，圆台形或棱台形所述微型凸起的底面上最长连线长度范围为0.3~1毫米，所述微型凸起的顶面上最长连线长度范围为0.01~0.5毫米。

8.如权利要求1所述的一种等离子体表面放电的柔性电极，其特征在于，所述导电膜层采用可用于镀膜的导电材料，所述导电材料包括金、银、铜、锡及其合金中的至少一种，所述导电膜层覆盖设在所述基底层具有所述微型凸起的一面。

9.如权利要求1所述的一种等离子体表面放电的柔性电极，其特征在于，所述绝缘层的一侧与位于所述微型凸起的端部的所述导电膜层紧密贴合，所述绝缘层的另一侧设有用于接地的电极层，所述电极层与所述导电膜层相互配合设置。

10.一种等离子体表面放电的装置，其特征在于，所述装置包括保护部件、电连接部件以及权利要求1至9任一所述的一种等离子体表面放电的柔性电极，所述电连接部件与所述导电膜层电连接，所述保护部件对所述柔性电极进行绝缘封装。