[发明专利]一种等离子体表面放电的柔性电极及装置

说明书

本发明公开了一种等离子体表面放电的柔性电极及装置，包括：基底层；绝缘层，设在所述基底层上；其中，所述基底层和所述绝缘层之间设有导电膜层，所述基底层与所述绝缘层相对的一侧表面上设有若干用于引导所述导电膜层产生等离子体表面放电的微型凸起，所述导电膜层覆盖设在所述微型凸起的表面，通过在基底层的表面上设置微型凸起，导电膜层在微型凸起的表面上覆盖设置，导电膜层贴合在微型凸起的表面形成与微型凸起相同的凸起形状，微型凸起使得尖端放电更容易形成，更加有效的产生大密度均匀的等离子体放电，在整个柔性电极表面产生均匀的介质阻挡等离子体表面放电，从而有效的提高柔性电极放电效率。

技术领域

本发明涉及等离子体表面放电技术领域，更具体的说，涉及一种等离子体表面放电的柔性电极及装置。

背景技术

低温等离子体技术：近年来，低温等离子体技术的研究非常活跃，在环保领域衍生除了许多新的技术、方法和工艺。低温等离子体放电温度较低，采用大气压放电可以有效的降低放电装置的成本，使能源消耗降低，本发明采用介质阻挡放电技术产生等离子体，可以在接近室温的条件下产生大量的高能粒子与活性基团，从而对与之相接触的待处理物体表面上病菌等微生物进行有效的消杀。在作用在食品和皮肤伤口表面时，产生的等离子体还具有保鲜和促进伤口病灶愈合的作用。

微结构放电应用：微放电是近年来兴起的新兴研究领域，通过在微米级甚至纳米级几何尺度上设计微结构，配合不同类型的等离子体放电，可以满足不同应用场景的需求。本发明采用微米级几何尺度的柔性复合高压电极产生大气压环境下的等离子体介质阻挡放电，可以在较小的能耗下产生较大面积上均匀的等离子体放电，满足本发明的移动便携特性。

等离子体电离液体放电：等离子体电离液体放电可以在液体表面电离产生多种化学基团，这些化学基团有着很高的活性，应用领域广泛。在本发明中，当经过雾化后的液体水雾流经等离子体放电区时，其与微电极接触的液滴表面会发生电离，产生大量的OH-基团，这些基团具有氧化性，可以随雾化液滴散播到环境空气中起到消杀环境中病菌等微生物的作用。

然而，现有的沿面放电装置对非规则表面处理由于与放电表面贴合不紧密普遍存在效率低、放电要求高以及处理效果不均匀等问题，无法满足人们的需求。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种有效提高放电效率的等离子体表面放电的柔性电极及装置。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种等离子体表面放电的柔性电极，包括：

基底层；

绝缘层，设在所述基底层上；

其中，所述基底层和所述绝缘层之间设有导电膜层，所述基底层与所述绝缘层相对的一侧表面上设有若干用于引导所述导电膜层产生等离子体表面放电的微型凸起，所述导电膜层覆盖设在所述微型凸起的表面。

进一步地，若干所述微型凸起均匀间隔设置，相邻两个所述微型凸起的间距范围为0.3~2毫米，所述微型凸起的高度范围为0.5~1.5毫米。

进一步地，所述基底层、所述微型凸起和所述绝缘层采用柔性材料制作，所述柔性材料包括硅聚二甲基硅氧烷、聚乳酸、聚对苯二甲酸乙二醇酯、橡胶、硅胶、凝胶、聚酰亚胺中的一种或多种的组合。

进一步地，所述微型凸起与所述基底层一体化成型，所述基底层和所述绝缘层的厚度范围为0.1~2毫米。

进一步地，所述微型凸起采用圆锥形或圆柱形的微阵列结构，圆锥形或圆柱形所述微型凸起的底面直径范围为0.3~1毫米。