[发明专利]一种PECVD一体炉

权利要求书

1.一种PECVD一体炉，其特征在于，所述PECVD一体炉包括：

箱体(10)，具有容纳腔，所述容纳腔贯通所述箱体(10)在第一方向上的两侧；及

多个炉体(20)，叠置于所述容纳腔内，每一所述炉体(20)具有炉腔(21)以及连通所述炉腔(21)的两个炉口(22)，每一所述炉体(20)的两个所述炉口(22)分别位于所述炉体(20)在所述第一方向上的两侧。

2.根据权利要求1所述的PECVD一体炉，其特征在于，多个所述炉体(20)沿与所述第一方向垂直的第二方向依次堆叠。

3.根据权利要求2所述的PECVD一体炉，其特征在于，每相邻两个所述炉体(20)之间设置有第一保温层(13)；

多个所述炉体(20)中位于底层的所述炉体(20)的底部与所述箱体(10)之间设置有所述第一保温层(13)。

4.根据权利要求3所述的PECVD一体炉，其特征在于，所述第一保温层(13)包括保温棉层。

5.根据权利要求2所述的PECVD一体炉，其特征在于，每一所述炉体(20)在第三方向上的两侧分别与所述箱体(10)之间设置有第二保温层(14)，所述第三方向与所述第一方向和第二方向垂直。

6.根据权利要求5所述的PECVD一体炉，其特征在于，所述箱体(10)包括支撑架(11)及两个侧板组，两个所述侧板组分别可拆卸地连接于所述支撑架(11)在所述第三方向上的两侧，以在两个所述侧板组之间形成所述容纳腔；

每一所述第二保温层(14)设置于对应的所述侧板组和所述炉体(20)之间。

7.根据权利要求6所述的PECVD一体炉，其特征在于，每一所述侧板组包括多个侧板(12)，每一所述侧板(12)与所述支撑架(11)可拆卸地连接，每一所述第二保温层(14)设置于对应的所述侧板(12)和所述炉体(20)之间。

8.根据权利要求2所述的PECVD一体炉，其特征在于，所述箱体(10)的顶部具有敞口，所述箱体(10)的顶部设置有用于盖合所述敞口的第三保温层(15)。

9.根据权利要求1所述的PECVD一体炉，其特征在于，所述炉腔(21)的内侧壁开设有多个沟槽(23)，多个所述沟槽(23)围绕所述炉腔(21)的中轴线间隔布设，所述沟槽(23)内设置有加热件(24)。

10.根据权利要求9所述的PECVD一体炉，其特征在于，所述沟槽(23)具有多个固定位置，所述多个固定位置沿所述第一方向间隔布置，所述加热件(24)在所述固定位置处固定连接于所述沟槽(23)；

或，所述加热件(24)半埋在所述沟槽(23)内。